李彬
- 作品数：17 被引量：5H指数：1
- 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学文化科学更多>>
- SOI波导与InGaAs/InP光电探测器的集成被引量：4
- 2014年
- 成熟的CMOS技术可制备无源光学器件,但高效光源和高性能光探测仍需要III^V族半导体材料。综述了近期III^V族外延片与SOI(silicon-on-insulator)波导集成的键合技术,按键合材料的不同分为无机和有机材料键合。着重分析了各种InGaAs/InP光电探测器与SOI波导集成的光耦合方案,并对其优缺点进行对比。同时给出设计的一种倏逝波耦合的InGaAs/InP光电探测器,用时域有限差分(FDTD)法对器件光学特性进行了模拟,以SOI上有机键合的方式,获得95%的探测器吸收效率,表明该SOI波导集成的光电探测器可实现小体积、低损耗及高响应度的光探测,符合片上光互连系统的要求。
- 崔荣杨晓红吕倩倩尹冬冬尹伟红李彬韩勤
- 关键词：探测器键合技术
- 可用于单光子探测的平面型雪崩二极管探测器的制作方法
- 一种可用于单光子探测的平面型雪崩二极管探测器的制作方法，包括：在N型InP衬底上依次生长InP缓冲层、InGaAs吸收层、InGaAsP渐变层、N型InP电荷层和InP帽层；在InP帽层上生长SiO<Sub>2</Sub...
- 杨怀伟李彬韩勤
- 文献传递
- 一种雪崩光电探测器及其高频特性提高方法
- 本发明公开了一种雪崩光电探测器，其用于探测目标探测光，并包括纵向依次排列的吸收层(3)、第一电荷层(41)、倍增层(5)、第二电荷层(42)和渡越层(6)，其中第一电荷层(41)为N型掺杂，第二电荷层(42)为P型掺杂。...
- 李彬韩勤杨晓红
- 文献传递
- 低噪声InGaAs/InP雪崩光电二极管及暗电流分析
- 本文报道了一种平面结构InGaAs/InP分离吸收、过渡、电荷、倍增(SAGCM)雪崩光电探测器(APD)。器件设计倍增层厚度低于300nm,通过刻蚀圆坑与单浮动扩散保护环相结合的方法抑制边缘击穿,器件制备过程只需要一步...
- Bin Li李彬Qin Han韩勤Xiaohong Yang杨晓红Shaoqing Liu刘少卿Weihong Yin尹伟红Chenglei Nie聂诚磊
- 关键词：雪崩光电探测器光电二极管
- 一种制备量子点场效应晶体管列阵的方法
- 本发明公开了一种制备量子点场效应晶体管列阵的方法，包括：选择外延片，在外延片上涂光刻胶，对外延片腐蚀出台面，形成源漏沟道，其中同一行的源极在光刻时连在一起；在源极和漏极蒸镀电极，进行电极退火形成源漏与导电沟道的欧姆接触；...
- 聂诚磊杨晓红王秀平王杰刘少卿李彬杨怀伟尹伟红韩勤
- 文献传递
- InGaAs/InP平面型雪崩光电探测器
- 本文报道了一种可用于长距离光纤通信的平面结构InGaAs/InP分离吸收、过渡、电荷、倍增(SAGCM)雪崩光电探测器(APD)。对于30微米直径的器件,其暗电流在穿通电压处可低至0.032nA,在90％击穿电压下暗电流...
- Bin Li李彬Qin Han韩勤Xiaohong Yang杨晓红Shaoqing Liu刘少卿Weihong Yin尹伟红Chenglei Nie聂诚磊
- 关键词：雪崩光电探测器半导体材料
- 一种平面型雪崩光电探测器
- 本发明公开了一种平面型雪崩光电探测器，其外延结构包括：吸收层，其用于吸收目标探测光，将目标探测光的光子转化为光生载流子；N型下电荷层，其用于调控所述雪崩光电探测器器件内部电场分布；倍增层，其用于倍增所述光生载流子；P型上...
- 李彬韩勤杨晓红
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- InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法
- 本发明提供一种InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器及制备方法，所述InP基的无源线波导的光纤光斑转换耦合器，包括：一衬底；一下包层，其制作在衬底的中间部位，其形状为铲子形，一端为铲子的头部，另一端为柄部；铲形头部的前...
- 吕倩倩韩勤崔荣李彬尹伟红杨晓红
- 文献传递
- 一种双步消逝场耦合的雪崩光电探测器
- 本发明公开了一种双步消逝场耦合的雪崩光电探测器(APD)，该雪崩光电探测器包括：衬底；形成于衬底之上的单模传输光波导，用于实现匹配光斑在其中低损耗单模传输，并使光渐渐向上消逝场耦合进入光匹配层；形成于单模传输光波导之上的...
- 崔荣杨晓红李彬尹伟红吕倩倩韩勤
- 文献传递
- 一种双步消逝场耦合的雪崩光电探测器
- 本发明公开了一种双步消逝场耦合的雪崩光电探测器(APD)，该雪崩光电探测器包括：衬底；形成于衬底之上的单模传输光波导，用于实现匹配光斑在其中低损耗单模传输，并使光渐渐向上消逝场耦合进入光匹配层；形成于单模传输光波导之上的...
- 崔荣杨晓红李彬尹伟红吕倩倩韩勤
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