王效顺
- 作品数：7 被引量：38H指数：5
- 供职机构：中国科学院安徽光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：中国科学院安徽光学精密机械研究所所长基金中国科学院合肥物质科学研究院院长基金安徽省国际科技合作计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 高效率放电抽运KrF准分子激光器被引量：6
- 2011年
- 248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中,激光器的最大输出效率和能量都是十分重要的参数。为了提高激光器输出效率和能量,实现KrF准分子激光器的稳定放电,采用新型开关电源和结构紧凑的张氏电极,并通过优化储能/放电电容比例和工作气体配比等方法,研制出了一台小型高效率放电抽运KrF准分子激光器。研究了开关电源对充放电特性的影响,以及气体配比对激光输出效率和能量的影响。该激光器的各项参数相比以往的产品有了较大改善,可重复频率为1~80 Hz,输出效率最高达2.5%,最大单脉冲输出能量380 mJ;当工作电压高于25 kV时,激光输出能量不稳定度约为1.8%。
- 王效顺余吟山王庆胜梁勖游利兵方晓东
- 关键词：激光器准分子激光器开关电源
- 准分子激光在液芯光纤中传输特性的实验研究被引量：5
- 2011年
- 液芯光纤作为一种新型的光能量传输媒介,有诸多显著的优点,着重介绍了液芯光纤相对于传统固体传光光纤束的优势。为了液芯光纤在紫外波段激光传输上的应用,对波长为308 nm和248 nm两种准分子紫外激光在液芯光纤中传输的能量透过率进行了实验研究,分析了单脉冲能量(1～5mJ)、光波长(248 nm/308 nm)、平均功率(2～20 mW)等激光参数变化对准分子激光在液芯光纤中传输特性的影响,为液芯光纤应用于准分子激光传输提供了实验依据。
- 付加友董伟伟邵景珍陶汝华王效顺余吟山方晓东
- 关键词：纤维与波导光学液芯光纤准分子激光
- 准分子激光全固态脉冲电源设计与实验研究被引量：14
- 2009年
- 针对脉冲能量5～8mJ的ArF准分子激光器，设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源，采用园产可控硅和磁开关材料，获得了上升时间约150EIS，电压10～14kV，传递能量0．35～0．68j的激励脉冲，并实现了对准分子激光器快放电激励。三级磁开关总效率35％，分析表明磁开关损耗较大主要原因为电容能量转移不充分、导线铜损及磁芯材料铁损较大，并提出了相应改进办法。
- 游利兵梁勖余吟山李会王庆胜王效顺
- 关键词：准分子激光磁开关可控硅磁脉冲压缩
- 高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究被引量：8
- 2012年
- 为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。
- 王效顺梁勖游利兵赵家敏方晓东
- 关键词：激光器能量稳定高重复频率
- 实用型放电泵浦XeF(B-X)准分子激光器
- 2011年
- 研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选取合理的工作气体压力和配比,优化了激光器性能,提高了激光器输出参数:单脉冲能量153 mJ,平均功率12.9 W,转换效率最高达到0.88%,重复频率1～80 Hz,能量不稳定度小于4%,近场光斑尺寸7 mm×22 mm。激光器已应用到常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统的实验中。
- 王庆胜余吟山王效顺游利兵梁勖李会方晓东
- 关键词：准分子激光器XEF开关电源印刷电路板
- 双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究被引量：8
- 2013年
- 为了满足工业用振荡-放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求,设计了高重频高精度的脉冲充电电源。该电源采用LC谐振倍压的方式,同时为双腔准分子激光器的充电电容器进行充电,倍压比为1.87。通过对电源工作时序的调节,实现千赫兹高重频放电激励,在电源输出电压约为1300V时,充电电压精度为±0.18%。结果表明,通过充电电压精度控制单元,对充电电压反馈调节,可以实现充电电压的高精度。
- 赵家敏高健梁勖王效顺游利兵王庆胜余吟山方晓东
- 关键词：激光技术充电电源高重频准分子激光
- 用于白癜风治疗的308nm XeCl准分子激光系统被引量：9
- 2012年
- 研制了一台用于白癜风治疗的308nm XeCl准分子激光系统。根据准分子激光器脉冲式放电的特点,设计了推挽式脉冲开关电源。实验研究了激光器脉冲重复频率、工作电压、气体寿命对激光输出能量的影响,并检测了激光输出脉冲能量的稳定性。通过自动反馈控制系统调整激光头放电工作电压实现输出激光能量的稳定。激光采用扩展型紫外液芯光纤传导,得到均匀性良好的治疗光斑,液芯光纤对308nm激光的传输效率约为70%。激光器脉冲重复频率1～200Hz,工作电压18～25kV,输出能量不稳定度小于4%。经光纤输出用于治疗的有效光斑直径22mm,脉冲能量密度2～3mJ/cm2。
- 刘毅方晓东梁勖高健余吟山王效顺罗乐
- 关键词：激光器准分子激光器白癜风治疗液芯光纤
