王庆胜
- 作品数：11 被引量：45H指数：6
- 供职机构：中国科学院安徽光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院安徽光学精密机械研究所所长基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 高效率放电抽运KrF准分子激光器被引量：6
- 2011年
- 248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中,激光器的最大输出效率和能量都是十分重要的参数。为了提高激光器输出效率和能量,实现KrF准分子激光器的稳定放电,采用新型开关电源和结构紧凑的张氏电极,并通过优化储能/放电电容比例和工作气体配比等方法,研制出了一台小型高效率放电抽运KrF准分子激光器。研究了开关电源对充放电特性的影响,以及气体配比对激光输出效率和能量的影响。该激光器的各项参数相比以往的产品有了较大改善,可重复频率为1~80 Hz,输出效率最高达2.5%,最大单脉冲输出能量380 mJ;当工作电压高于25 kV时,激光输出能量不稳定度约为1.8%。
- 王效顺余吟山王庆胜梁勖游利兵方晓东
- 关键词：激光器准分子激光器开关电源
- 准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究被引量：7
- 2013年
- 为了解决高重复率下准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位问题,以理论分析为指导,结合磁开关工作特性,设计了一种磁芯精确复位电路,该电路可快速精确复位饱和后的磁开关。将此复位系统应用于准分子激光器脉冲电源测试其性能,复位电流在磁开关饱和后200μs内平息振荡。结果表明,这一磁芯复位系统可满足4kHz重复率下脉冲电源的复位要求。此研究对今后高重复率准分子激光电源的设计是有帮助的。
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- 关键词：磁脉冲压缩脉冲电源准分子激光
- 一种放电引发非链式氟化氘脉冲激光器研究
- 2016年
- 设计了一种紧凑型放电引发非链式氟化氘(DF)脉冲激光器,引入基于闸流管的一级磁脉冲压缩高压快上升沿放电引发回路,形成39.5kV、100ns上升沿高压快脉冲。紧凑型张氏放电电极结合紫外(UV)火花预电离,在电极间距为30mm激活区形成均匀辉光放电,注入能量密度达190J/L。激光谐振腔选用平平腔结构,激光工作气体采用SF6和D2,其气体配比优化为10:3,此时获得最大能量输出为877mJ,电光转换效率为1.9%,脉宽约200ns,光斑为30mm×9mm。
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- 关键词：激光器化学激光磁脉冲压缩开关
- 准分子激光全固态脉冲电源设计与实验研究被引量：14
- 2009年
- 针对脉冲能量5～8mJ的ArF准分子激光器，设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开关的全固态脉冲电源，采用园产可控硅和磁开关材料，获得了上升时间约150EIS，电压10～14kV，传递能量0．35～0．68j的激励脉冲，并实现了对准分子激光器快放电激励。三级磁开关总效率35％，分析表明磁开关损耗较大主要原因为电容能量转移不充分、导线铜损及磁芯材料铁损较大，并提出了相应改进办法。
- 游利兵梁勖余吟山李会王庆胜王效顺
- 关键词：准分子激光磁开关可控硅磁脉冲压缩
- kHz准分子激光器全固态脉冲激励源被引量：6
- 2013年
- 由于寿命制约,准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块,使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生μs级的高压脉冲,利用磁脉冲压缩技术将上升时间为μs级高压脉冲压缩至满足准分子激光器使用的上升时间为0.1μs级高压脉冲。在ArF准分子激光头上放电,获得激励脉冲的上升时间约为90ns,放电电压16.5kV,重复频率达到1kHz,两级磁脉冲压缩开关能量传递效率达59.1%。
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- 关键词：准分子激光器磁开关磁脉冲压缩
- 焦耳级放电激励紫外预电离HF激光器被引量：2
- 2016年
- 研制了一台采用紫外火花预电离和横向放电结构的非链式电激励脉冲HF激光装置,采用氢闸流管结合一级磁脉冲压缩开关的高功率电激励系统。实验研究了激光工作介质SF6,H2不同压强比和总工作气压对激光输出能量的影响,得出了最佳气体组分,确定了最佳工作气压。总气压在8.8kPa,气体组分H2与SF6气压比为1:9时,获得最佳的激光输出,输出能量达到1.3J,激光器的光电转换效率达到2.4%。
- 王庆胜游利兵尹广玥褚状状方晓东
- 关键词：HF激光器磁脉冲压缩开关紫外预电离
- 紫外激光诱导击穿光谱的应用与发展被引量：4
- 2017年
- 激光诱导击穿光谱(LIBS)技术是一种基于原子发射光谱的元素分析技术,是元素分析领域重要的研究手段。作为LIBS分析的激发光源,紫外激光具有光子能量大、空间分辨率高等优点,可以提高烧蚀效率、减少分馏效应,在地质检测和生物医药检测方面有很好的应用前景;也可从提升元素分析的效果,扩大LIBS技术的应用范围。介绍了紫外LIBS技术的原理与特点,讨论了国内外紫外LIBS技术的应用,总结了紫外LIBS技术的发展趋势。
- 陈亮陈亮游利兵王庆胜褚状状方晓东
- 关键词：光谱学激光诱导击穿光谱紫外激光光谱分析
- 实用型放电泵浦XeF(B-X)准分子激光器
- 2011年
- 研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选取合理的工作气体压力和配比,优化了激光器性能,提高了激光器输出参数:单脉冲能量153 mJ,平均功率12.9 W,转换效率最高达到0.88%,重复频率1～80 Hz,能量不稳定度小于4%,近场光斑尺寸7 mm×22 mm。激光器已应用到常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统的实验中。
- 王庆胜余吟山王效顺游利兵梁勖李会方晓东
- 关键词：准分子激光器XEF开关电源印刷电路板
- 双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究被引量：8
- 2013年
- 为了满足工业用振荡-放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求,设计了高重频高精度的脉冲充电电源。该电源采用LC谐振倍压的方式,同时为双腔准分子激光器的充电电容器进行充电,倍压比为1.87。通过对电源工作时序的调节,实现千赫兹高重频放电激励,在电源输出电压约为1300V时,充电电压精度为±0.18%。结果表明,通过充电电压精度控制单元,对充电电压反馈调节,可以实现充电电压的高精度。
- 赵家敏高健梁勖王效顺游利兵王庆胜余吟山方晓东
- 关键词：激光技术充电电源高重频准分子激光
- 通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出(英文)被引量：1
- 2016年
- 分别研究了Ne、F_2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F_2分压对脉冲能量输出的影响非常明显。工作气体中Kr参与的三体碰撞过程占主导地位,激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系。当充电电压为28.7 kV,在最优化工作气体分压(F_2:He:Kr:Ne=0.315:5.985:19.5:305 kpa)下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ,全电效率为1.64%.
- 邱红松游利兵王庆胜尹广玥方晓东
- 关键词：激光技术气体混合物缓冲气体
