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高浩然

作品数：1 被引量：8H指数：1
供职机构：北京京东方光电科技有限公司更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇低电阻
  • 1篇电阻
  • 1篇金属
  • 1篇金属铝
  • 1篇晶体管
  • 1篇刻蚀
  • 1篇薄膜晶体
  • 1篇薄膜晶体管
  • 1篇铝

机构

  • 1篇北京京东方光...

作者

  • 1篇陈旭
  • 1篇谢振宇
  • 1篇刘翔
  • 1篇王威
  • 1篇高浩然

传媒

  • 1篇液晶与显示

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
使用低电阻金属铝制造薄膜晶体管阵列信号电极被引量：8
2009年
金属电阻是影响大尺寸TFT-LCD信号延迟的关键因素。研究了利用低电阻率金属Al制作大尺寸TFT阵列信号线的生产工艺,发现在完成有源半导体层刻蚀后残留的少量Cl2会在后续工艺中对金属Al造成腐蚀,严重地影响了产品的性能。通过优化刻蚀工艺,采用活性更高的SF6去除刻蚀有源半导体层时残留的少量Cl2,避免了金属Al腐蚀的发生。
刘翔陈旭谢振宇高浩然王威
关键词：薄膜晶体管铝刻蚀
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