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谭姣姣

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：江南大学信息工程学院更多>>
发文基金：上海市科委科研计划项目国家重点实验室开放基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇镀液
  • 1篇润湿
  • 1篇润湿性
  • 1篇微结构
  • 1篇接触角
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇改性
  • 1篇表面改性

机构

  • 1篇江南大学
  • 1篇上海交通大学

作者

  • 1篇杨卓青
  • 1篇李光杨
  • 1篇丁桂甫
  • 1篇汪红
  • 1篇姚锦元
  • 1篇谭姣姣

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
提高微结构表面在镀液中的润湿性被引量：3
2010年
为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果。测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极化曲线。运用傅里叶变化红外光谱分析(FTIR),对不同改性时间下的光刻胶表面成分进行了表征。提出了一种表征微结构润湿情况的方法。实验证明,添加SDS不影响镍在氨基磺酸镍溶液中的析出电位。FTIR的测试结果表明,通过氧等离子体改性在光刻胶表面引入了亲水的羟基,从而增强了由光刻胶构造的微结构的润湿性。研究发现,深宽比为1、线宽为50μm的微结构阵列经过氧等离子体改性5s后,在15min之内可被含SDS0.5kg/m3的氨基磺酸镍镀液完全浸润。
李光杨汪红谭姣姣杨卓青姚锦元丁桂甫
关键词：光刻胶表面改性接触角润湿性微结构
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