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吴暻
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2
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
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沈国策
中国电子科技集团公司第五十五研...
周骏
中国电子科技集团公司第五十五研...
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作者
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周骏
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沈国策
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吴暻
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2018
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硅基多通道TR组件及设计方法
本发明是硅基多通道TR组件,结构包括具有信号传输、无源元件集成和芯片载体的多层硅基基板1,用于实现TR组件各类具体功能的微波单片集成电路和数字集成电路2,顶部用于密封和保护的高阻硅硅帽3;多层硅基基板至少包括三层金属布线...
周骏
沈国策
吴暻
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硅基多通道TR组件及设计方法
本发明是硅基多通道TR组件,结构包括具有信号传输、无源元件集成和芯片载体的多层硅基基板1,用于实现TR组件各类具体功能的微波单片集成电路和数字集成电路2,顶部用于密封和保护的高阻硅硅帽3;多层硅基基板至少包括三层金属布线...
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