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丁彤彤
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4
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
王朋
中国科学院上海微系统与信息技术...
曹春芳
中国科学院上海微系统与信息技术...
龚谦
中国科学院上海微系统与信息技术...
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龚谦
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王朋
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丁彤彤
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2019
1篇
2018
2篇
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GaAs分子束外延生长过程中As原子最高结合率的测量方法
本发明提供一种GaAs分子束外延生长过程中As原子最高结合率的测量方法,其特征在于利用Ga原子束流的变化使GaAs生长过程中交替出现富Ga和富As的表面,并记录表面再构变化的时间,最终通过求解表面富余原子总量的表达式,得...
龚谦
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曹春芳
丁彤彤
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GaAs分子束外延生长过程中As原子最高结合率的测量方法
本发明提供一种GaAs分子束外延生长过程中As原子最高结合率的测量方法,其特征在于利用Ga原子束流的变化使GaAs生长过程中交替出现富Ga和富As的表面,并记录表面再构变化的时间,最终通过求解表面富余原子总量的表达式,得...
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一种硅基砷化镓复合衬底的制备方法
本发明涉及一种硅基砷化镓复合衬底的制备方法,其特征在于所述的复合衬底以锑化物为中间层、上、下表面分别形成压应变AlSb/Si和张应变GaAs/GaSb的界面失配位错阵列IMF,使应变在两个界面处得到释放,解决了GaAs与...
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一种硅基砷化镓复合衬底的制备方法
本发明涉及一种硅基砷化镓复合衬底的制备方法,其特征在于所述的复合衬底以锑化物为中间层、上、下表面分别形成压应变AlSb/Si和张应变GaAs/GaSb的界面失配位错阵列IMF,使应变在两个界面处得到释放,解决了GaAs与...
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