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关宝路

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”霍英东基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氧化铟
  • 1篇氧化铟锡
  • 1篇直接键合
  • 1篇亮度
  • 1篇铝镓铟磷
  • 1篇键合
  • 1篇硅衬底
  • 1篇高亮
  • 1篇高亮度
  • 1篇AU
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇北京工业大学

作者

  • 1篇郭霞
  • 1篇沈光地
  • 1篇揣东旭
  • 1篇李一博
  • 1篇关宝路

传媒

  • 1篇固体电子学研...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于Au/Au直接键合的高亮度ODRLED被引量：4
2009年
提出利用Au/Au直接键合制作高亮度全方位反光镜(ODR)LED的新工艺。工艺采用Si做转移衬底,氧化铟锡(ITO)做窗口层和缓冲层,在0.35mPa压力,260°C的低温下实现Au/Au固相直接键合。直接键合后,Al-GaInP有源区与Si衬底结合牢固完整,保证了全方位反光镜的性能。在正向电流20mA下,键合ODR结构LED的正向压降是常规吸收衬底LED的80%,光输出功率和流明效率是常规吸收衬底LED的1.5倍和2.1倍。
李一博郭霞关宝路揣东旭沈光地
关键词：铝镓铟磷硅衬底氧化铟锡直接键合
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