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张建城

作品数：1 被引量：8H指数：1
供职机构：厦门大学物理与机电工程学院机电工程系更多>>
发文基金：福建省自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇激光
  • 1篇激光焊
  • 1篇激光焊接
  • 1篇干涉解调
  • 1篇白光
  • 1篇白光干涉
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇谢海鹤
  • 1篇颜黄苹
  • 1篇黄元庆
  • 1篇林春
  • 1篇江小峰
  • 1篇张建城

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
白光干涉解调光纤MEMS压力传感器被引量：8
2014年
为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量,进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本,提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器,实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术,采用光刻、阳极键合以及化学腐蚀的方法制作了以硅和玻璃构成的法布里-珀罗腔体,使用二氧化碳激光器对法布里-珀罗腔体与光纤进行焊接.基于白光干涉解调技术,利用斐索干涉仪与法布里-珀罗腔体的互相关关系对传感器进行了解调,并做了压力实验.实验结果表明：传感器在120～300kPa范围内具有较高的腔长变化灵敏度和线性度,分别为9.012 7nm/kPa和99.9%;传感器分辨率为0.1nm,重复性为0.1%.研究成果对低成本、高一致性光纤F-P传感器的批量制作具有一定的参考价值.
江小峰林春谢海鹤颜黄苹张建城黄元庆
关键词：白光干涉MEMS激光焊接
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