孙钰林
- 作品数:2 被引量:26H指数:2
- 供职机构:长春理工大学光电工程学院更多>>
- 发文基金:长春市科技计划项目更多>>
- 相关领域:理学更多>>
- 多波段激光滤光膜的研制被引量:18
- 2009年
- 针对光学仪器对多光谱光轴测试的特殊要求,采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过对材料的光学特性、膜系设计和监控厚度误差的分析,优化工艺参数,在多光谱ZnS基底上,成功镀制多波段激光滤光膜,实现了多波段光谱的分束。所镀膜层在30。角入射条件下,可见400~700 nm波长范围内平均透射率高于90%,1064 nm和1 540 nm波长处的透射率都低于5%,在红外波长10.6μm透射率高于92%,并且解决了膜层牢固性问题,能够承受激光光源的照射和恶劣的环境测试,完全满足光学仪器的使用要求。
- 贺才美付秀华孙钰林李美萱
- 关键词:真空镀膜离子辅助沉积光学特性
- 硫化锌基底可见-红外多波段的光学薄膜被引量:9
- 2009年
- 由于硫化锌(ZnS)晶体透光区域较宽,常被用于多波段可见与红外光学系统中。介绍了在ZnS基底上制备的多波段光学薄膜,在400-700nm的可见波段及8-12μm的中长波红外波段实现高透射率,在1064nm及1540nm两点实现高反射率,其入射角度为45°。选取了ZnS和YbF3作为高低折射率材料,设计并通过软件优化出合理的膜系,采用电子枪离子辅助沉积系统进行镀制。该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试,满足使用要求。这对于红外光学系统的应用具有极其重要的意义。
- 付秀华孙钰林贺才美董洁凌
- 关键词:光学薄膜红外增透膜离子辅助沉积