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卢红成
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
西北工业大学材料学院
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发文基金:
中国航空科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
沈祥伟
西北工业大学材料学院
李阳平
西北工业大学材料学院
刘正堂
西北工业大学材料学院
闫峰
西北工业大学材料学院
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机械科学与技...
年份
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2009
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锗衬底上反应离子刻蚀制备宽波段红外增透结构的工艺及性能研究
被引量:2
2009年
研究了利用反应离子刻蚀技术在Ge衬底上制备宽波段抗反射亚波长结构时工艺参数对刻蚀速率及刻蚀选择比的影响。利用场发射扫描电镜(SEM)及原子力显微镜(AFM)对刻蚀图形的表面形貌进行了观察。利用傅里叶变换红外光谱仪对其红外透过率进行了研究。结果表明:所制备亚波长结构整齐、规则;在8~12μm波段增透8%左右,起到良好的宽波段红外抗反射效果。
沈祥伟
刘正堂
卢红成
李阳平
闫峰
关键词:
宽波段
反应离子刻蚀
刻蚀速率
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