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陈航

作品数:1 被引量:6H指数:1
供职机构:工业和信息化部电子第五研究所更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇漏电
  • 1篇漏电流
  • 1篇集成电路
  • 1篇PEM

机构

  • 1篇工业和信息化...

作者

  • 1篇刘丽媛
  • 1篇蔡金宝
  • 1篇陈航

传媒

  • 1篇失效分析与预...

年份

  • 1篇2015
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
PEM/OBIRCH用于集成电路漏电流失效定位被引量:6
2015年
漏电流增大是集成电路的主要失效表现,通过光发射显微镜(PEM)和光束感生电阻变化(OBIRCH)技术互补地结合使用,对集成电路中常见的PN结漏电、介质层绝缘性降低、间接漏电流失效和芯片的背面分析案例进行研究,分析由过电应力、金属化桥连、静电放电损伤导致漏电的定位特性。得出以下结论:根据光发射显微镜得到的缺陷形貌和位置可以断定是否为原始失效或间接失效,结合电路分析进而可以解释发光的原因;OBIRCH对原始缺陷的定位更为准确,多层结构的背面OBIRCH分析更有优势。
陈选龙陈航刘丽媛蔡金宝
关键词:集成电路漏电
共1页<1>
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