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陈航
作品数:
1
被引量:6
H指数:1
供职机构:
工业和信息化部电子第五研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
蔡金宝
工业和信息化部电子第五研究所
刘丽媛
工业和信息化部电子第五研究所
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2015
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PEM/OBIRCH用于集成电路漏电流失效定位
被引量:6
2015年
漏电流增大是集成电路的主要失效表现,通过光发射显微镜(PEM)和光束感生电阻变化(OBIRCH)技术互补地结合使用,对集成电路中常见的PN结漏电、介质层绝缘性降低、间接漏电流失效和芯片的背面分析案例进行研究,分析由过电应力、金属化桥连、静电放电损伤导致漏电的定位特性。得出以下结论:根据光发射显微镜得到的缺陷形貌和位置可以断定是否为原始失效或间接失效,结合电路分析进而可以解释发光的原因;OBIRCH对原始缺陷的定位更为准确,多层结构的背面OBIRCH分析更有优势。
陈选龙
陈航
刘丽媛
蔡金宝
关键词:
集成电路
漏电
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