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王忠芳
作品数:
11
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供职机构:
西安微电子技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
王健
西安微电子技术研究所
唐磊
西安微电子技术研究所
姚军
西安微电子技术研究所
谢成民
西安微电子技术研究所
赵德益
西安微电子技术研究所
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王忠芳
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王健
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姚军
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2011
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基于PD SOI的GCNMOS电源箝位保护电路
2011年
随着绝缘体上硅(SOI)技术的快速进展,SOI集成电路的静电放电(ESD)保护已成为一个主要的可靠性问题.研究了基于PD SOI工艺的栅耦合N型金属氧化物半导体管(GCNMOS)电源箝位保护电路,以形成全芯片ESD保护网络.利用HSPICE仿真的方法,可以准确地确定R值和C值,以确定合理的触发电压.根据PD SOI工艺特点设计了基于不同体偏置类型、不同源漏注入类型和不同栅宽的NMOS管的各种GCNMOS电源箝位保护电路,并进行了MPW流片及TLP测试分析,得到源漏深注、体悬浮的H型栅NMOS组成的GCN MOS电源箝位保护电路的抗ESD能力最好,单位宽度(1μm)抗HBM ESD能力可达9.25 V.
王忠芳
谢成民
赵德益
吴龙胜
刘佑宝
关键词:
保护电路
一种二极管及其制备方法
一种二极管,包括管壳、键合丝、芯片、管壳底座、管壳引出端以及电流泄放模块;电流泄放模块和芯片位于管壳内部,且由上到下依次设置在管壳底座上;键合丝一端连接电流泄放模块,另一端与管壳引出端相连;电流泄放模块在芯片上的正投影面...
侯斌
杨晓文
李照
鲁红玲
王忠芳
王双龙
胡长青
文献传递
一种低漏电SiC肖特基二极管及其制作方法
本发明提供一种低漏电SiC肖特基二极管及其制作方法,目的是减少SiC肖特基二极管反向漏电流,降低反向阻断损耗,提高电路效率,包括以下步骤:位于碳化硅晶圆正面N+衬底上的碳化硅外延层进行光刻胶涂覆,并光刻出对版标记;在碳化...
侯斌
李照
王晨霞
王忠芳
杨晓文
胡长青
文献传递
一种可提高抗单粒子性能的内嵌NPN碳化硅肖特基二极管结构
本发明公开一种可提高抗单粒子性能的内嵌NPN碳化硅肖特基二极管结构,阴极金属上设置有SiC N+衬底,N‑外延层与SiC N+衬底之间设置有N型缓冲层,PWell内设置有P+,P+的两侧均连接有N+,N+、PWell和N...
程鹏刚
唐磊
王忠芳
王晨霞
刘建军
胡长青
杨晓文
鲁红玲
侯斌
李照
一种低漏电SiC肖特基二极管及其制作方法
本发明提供一种低漏电SiC肖特基二极管及其制作方法,目的是减少SiC肖特基二极管反向漏电流,降低反向阻断损耗,提高电路效率,包括以下步骤:位于碳化硅晶圆正面N+衬底上的碳化硅外延层进行光刻胶涂覆,并光刻出对版标记;在碳化...
侯斌
李照
王晨霞
王忠芳
杨晓文
胡长青
一种提高抗单粒子性能的埋P+SiCJBS结构
本发明公开了一种提高抗单粒子性能的埋P+SiC JBS结构,包括阴极金属、阳极金属、SiC N+衬底、N型缓冲层、N‑外延层、P+埋层和JBS接触P+,所述SiC N+衬底的上方设置N型缓冲层和N‑外延层,所述N‑外延层...
程鹏刚
唐磊
王晨霞
王忠芳
刘建军
胡长青
杨晓文
侯斌
李照
王健
一种抗辐照结型场效应晶体管的制作方法
本发明公开了一种抗辐照结型场效应晶体管的制作方法,包括以下过程,在P型硅衬底形成P型外延层,在P型外延层形成第一介质层;在第一介质层上进行光刻形成保护环区;对保护环区进行P型注入,形成P型掺杂区;在P型外延层的第一介质层...
杨晓文
王健
王忠芳
侯斌
李照
胡长青
王英民
文献传递
一种抗辐照结型场效应晶体管的制作方法
本发明公开了一种抗辐照结型场效应晶体管的制作方法,包括以下过程,在P型硅衬底形成P型外延层,在P型外延层形成第一介质层;在第一介质层上进行光刻形成保护环区;对保护环区进行P型注入,形成P型掺杂区;在P型外延层的第一介质层...
杨晓文
王健
王忠芳
侯斌
李照
胡长青
王英民
一种提高抗单粒子性能的倒T型P+碳化硅JBS结构
本发明公开了一种提高抗单粒子性能的倒T型P+碳化硅JBS结构;碳化硅N+衬底的下表面为阴极金属,碳化硅N+衬底上为N型缓冲层和N‑外延层,N型缓冲层的浓度大于N‑外延层的浓度,N‑外延层的上表面内间隔均匀分布P+,N‑外...
程鹏刚
唐磊
王忠芳
杨晓文
刘建军
杨庚
王昕
王晨霞
黄山圃
姚军
王健
一种提高抗单粒子性能的埋SiO2 SiC JBS结构
本发明提供一种提高抗单粒子性能的埋SiO2SiC JBS结构,包括阴极金属和阳极金属,以及依次设置于阴极金属和阳极金属之间的多级N型缓冲层,所述多级N型缓冲层靠近阴极金属一侧设置有SiC N+衬底,靠近阳极金属一侧依次设...
程鹏刚
唐磊
王晨霞
王忠芳
杨晓文
刘建军
张文鹏
王昕
黄山圃
鲁红玲
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