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年份

  • 3篇2017
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
热式MEMS流量传感器的设计及测试被引量:2
2017年
根据已有的热式MEMS气体微流量传感器芯片的各部分热敏电阻热串扰现象严重,造成很大的测量误差,改进设计了一种MEMS热式流量传感器,将加热电阻和上下游测温电阻采用悬臂梁隔离结构,并相互隔离,有效的避免了热膜流量传感器各部分热敏电阻间相互热串扰现象。基于改进的MEMS热式流量传感器,设计了流量传感器的测试系统,包括恒温差电路、桥式测量电路及放大、滤波电路,所采集的流量信号经过滤波放大后输入AD模块进行模数转换,最后经过单片机处理,利用单片机与计算机串口通信功能,在不同流速下打印出不同的电压值;通过Matlab对所测出的数据进行拟合,完成对传感器性能的检测。测量结果表明:在一定的流量范围内,该流量传感器具有测量精度高、响应速率快、输出信号平滑等特点,能够广泛应用于工业、医疗领域的流量测量。
胡梦飞杨露露刘亚伟谷永先胡国俊吕品
关键词:微机电系统悬臂梁模数转换串口通信
基于压阻效应的陶瓷压力传感器被引量:7
2017年
设计制作了一种基于压阻效应的陶瓷压力传感器,采用宜弯折柔性调理电路,体积小、稳定性好、宜封装集成。在不同温度、压强环境条件下,对传感器进行了系列实验测试,其满量程综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.975%,完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差要求,性能指标优良。加之陶瓷芯片具有耐腐蚀、抗磨损、成本低廉等优点,该传感器可被广泛应用在各种压力检测的场合。
邬林陈丛钱江蓉赵潇胡国俊
关键词:压阻效应陶瓷压力传感器
陶瓷压阻式机油压力传感器研制被引量:1
2017年
针对传统滑线式机油压力传感器不足,设计制作了一种陶瓷压阻式机油压力传感器。利用自搭建的温度压力测试系统对其进行了标定与测试,实验结果显示:其综合检测精度(线性、迟滞、重复性等)达到0.925%F.S.,完全符合压力传感器通用技术条件规定的综合误差≤2%F.S.的要求,并通过了2~3倍量程的过载、爆破压力测试,性能稳定可靠。加之陶瓷芯片具有耐腐蚀、抗磨损、成本低廉等优点,该传感器可广泛应用于机油压力及其他相关场合的压力检测中。
邬林陈丛钱江蓉赵潇胡国俊
关键词:陶瓷压阻式机油压力压力传感器
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