胡梦飞
- 作品数：2 被引量：3H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 热式MEMS流量传感器的设计及测试被引量：2
- 2017年
- 根据已有的热式MEMS气体微流量传感器芯片的各部分热敏电阻热串扰现象严重,造成很大的测量误差,改进设计了一种MEMS热式流量传感器,将加热电阻和上下游测温电阻采用悬臂梁隔离结构,并相互隔离,有效的避免了热膜流量传感器各部分热敏电阻间相互热串扰现象。基于改进的MEMS热式流量传感器,设计了流量传感器的测试系统,包括恒温差电路、桥式测量电路及放大、滤波电路,所采集的流量信号经过滤波放大后输入AD模块进行模数转换,最后经过单片机处理,利用单片机与计算机串口通信功能,在不同流速下打印出不同的电压值;通过Matlab对所测出的数据进行拟合,完成对传感器性能的检测。测量结果表明:在一定的流量范围内,该流量传感器具有测量精度高、响应速率快、输出信号平滑等特点,能够广泛应用于工业、医疗领域的流量测量。
- 胡梦飞杨露露刘亚伟谷永先胡国俊吕品
- 关键词：微机电系统悬臂梁模数转换串口通信
- 基于MEMS热式流量传感器的研究
- 流量测量在日常生活、工业领域应用十分广泛。根据测量原理的不同，流量检测方式又可分为涡轮式、涡街式、超声波式、传热式等，其中热式流量传感器因结构简单、无机械零部件和测量精度高，近年来得到广泛应用。随着上世纪90年代MEMS...
- 胡梦飞
- 关键词：流量传感器
