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孙鹏
作品数:
24
被引量:15
H指数:3
供职机构:
北京航天控制仪器研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
航空宇航科学技术
交通运输工程
电子电信
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合作作者
邢朝洋
北京航天控制仪器研究所
庄海涵
北京航天控制仪器研究所
朱政强
北京航天控制仪器研究所
杨亮
北京航天控制仪器研究所
李海兵
北京航天控制仪器研究所
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大量程MEMS陀螺仪在高速旋转导弹上的应用
被引量:3
2017年
弹旋频率是影响旋转导弹制导精度的主要因素之一。本文提出了一种弹旋频率测量用大量程MEMS陀螺仪技术方案,开展了大量程MEMS陀螺仪在旋转导弹上的应用研究,解决了大量程MEMS陀螺仪在偏心安装、较大力学环境下提高测量精度等问题,通过了飞行试验验证,实现了旋转导弹弹旋频率的精确测量。
姚勤
潘鹤斌
孙鹏
徐杰
关键词:
MEMS
大量程
陀螺仪
旋转导弹
一种微型定位导航授时终端
本发明提出了一种微型定位导航授时终端,包括MEMS陀螺、MEMS加速度计、微处理器、微型原子钟、GNSS导航芯片等主要功能元件,采用一体化设计的方法,实现了定位导航授时终端的高度集成和微型化。为了实现三轴MEMS陀螺、三...
王国栋
杨亮
曾宪超
李海兵
薛正兵
李双玉
姚贺
张帅
庄海涵
孙鹏
文献传递
一种基于三明治式角度敏感器的高精度双轴倾斜测量装置
一种基于三明治式角度敏感器的高精度双轴倾斜测量装置,包括双轴倾角传感器电路、电连接器和封装壳体;双轴倾角传感器电路包括X轴MEMS角度敏感器、Y轴MEMS角度敏感器、调理电路、A/D转换电路、单片机电路、串口电路,MEM...
孙鹏
邱飞燕
徐杰
范冬青
邢朝洋
王玉良
王增跃
文献传递
一种带有薄膜背腔结构的MEMS芯片裂片方法及支撑工装
本发明公开了一种带有薄膜背腔结构的MEMS芯片裂片方法及支撑工装,所述方法包括以下步骤:1)在晶圆正面进行MEMS芯片加工工艺,完成MEMS芯片正面工艺的制备;2)将晶圆正面与玻璃陪片贴在一起,在晶圆背面进行背腔的刻蚀,...
刘福民
张树伟
邱飞燕
马高印
孙鹏
梅崴
梁德春
庄海涵
文献传递
用于辐照试验的MEMS惯性器件精确定位结构制作方法
用于辐照试验的MEMS惯性器件精确定位结构制作方法,先制作衬底,然后制作敏感结构,最后制作盖板,盖板上采用氢氧化钾湿法腐蚀硅片的方式形成辐照窗口,得到辐照屏蔽结构,该辐照屏蔽结构的位置需要正对着要进行辐照试验的敏感结构。...
邢朝洋
李男男
孙鹏
赵雪薇
朱政强
孟凡琛
宋健民
徐宇新
文献传递
一种铜填充硅通孔电迁移测试结构制备方法及测试方法
本发明提供了一种铜填充硅通孔电迁移测试结构制备方法及测试方法,该方法将具有TSV菊花链测试结构的测试芯片,通过贴片胶及键合金丝连接至印制电路板;对载有测试芯片的印制电路板进行冷镶嵌,并通过磨抛获得TSV菊花链结构横截面,...
邢朝洋
赵雪薇
李男男
朱政强
孙鹏
文献传递
一种内嵌微流道的三维集成硅基惯性微系统及其制造方法
本申请涉及一种内嵌微流道的三维集成硅基惯性微系统及其制造方法,包括包括依次电连接的第一无源转接板、第二无源转接板、第三无源转接板、第四无源转接板,第二无源转接板朝向第三无源转接板的表面电连接有第一有源芯片,第三无源转接板...
邢朝洋
赵雪薇
李男男
孙鹏
一种高密度集成无人机多任务时敏飞控导航系统及方法
本发明公开了一种高密度集成无人机多任务时敏飞控导航系统及方法,该系统包括:飞控导航运算处理模块、电源管理模块、多源感知测量模块、电调驱动模块、通信接口模块和带有安装孔的金属壳体;飞控导航运算处理模块、电源管理模块、多源感...
王巍
孟凡琛
邢朝洋
孙鹏
阚宝玺
吴志刚
陈巍
一种高精度MEMS角度传感器敏感结构及加工方法
一种高精度MEMS角度传感器敏感结构及加工方法,该敏感结构包括上玻璃极板、中间硅极板、下玻璃极板,及金丝引线;上玻璃极板和下玻璃极板上淀积有金属电极区域和介质膜区域形成电容的上极板和下极板;中间硅极板由两根悬臂梁连接一个...
孙鹏
邱飞燕
范冬青
邢朝洋
徐杰
王超
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一种用于框架类工件的批量检测装置
一种用于框架类工件的批量检测装置,包括定位柱(3)、检测基板(4)、锁紧环(6)、支撑柱(7)、转向柱(8)、压紧薄片(10)、紧固件;检测基板(4)上设置成矩阵排列的等间距基板螺纹孔(5),多个支撑柱(7)固定在基板螺...
郭猛
米军辉
杨晓荣
孙鹏
张荣
张硕
刘元飞
武岩松
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