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李海军

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第十三研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇体硅
  • 1篇体硅工艺
  • 1篇光开关
  • 1篇硅工艺
  • 1篇SAS
  • 1篇硅
  • 1篇铝
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇郑七龙
  • 1篇杨拥军
  • 1篇李海军
  • 1篇徐永青

传媒

  • 1篇中国机械工程

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新型硅-铝-硅结构MEMS加工技术及应用
2005年
提出了一种新型的硅-铝-硅结构的MEMS器件加工技术.采用了微电子工艺中的铝-硅烧结技术,将具有铝层的两个硅片键合在一起,并采用全干法深刻蚀技术在其中的一层硅片上进行MEMS器件的加工.该技术已成功应用到MEMS光开关及其他MEMS器件的制作中.
徐永青杨拥军郑七龙李海军
关键词：MEMS体硅工艺光开关
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共1页<1>
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