赵新宇
- 作品数：9 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信一般工业技术电气工程更多>>
- 恒温焊台工作温度测定的影响因素分析
- 结合恒温焊台的实际温度测定工作,分析了影响工作温度测定的烙铁头形状、氧化层、温度控制装置等五种因素,并提出了恒温焊台在测定温度时应注意的在电压、接地线、防护等方面的问题.从而有效保障焊接质量。
- 许晓青赵新宇赵革艳
- 关键词：工作温度
- 文献传递
- 带有台阶高度的微米级光栅校准样片
- 本发明公开了一种带有台阶高度的微米级光栅校准样片，涉及微纳米测量类仪器的校准领域。包括基底、以及在基底上设置的至少一组同一周期尺寸的光栅结构和覆盖在光栅结构表面的金属层；所述一组同一周期尺寸的光栅结构包括同一周期尺寸的一...
- 赵琳李锁印韩志国许晓青冯亚南梁法国赵革艳赵新宇郑晓敏孙悦
- 文献传递
- 微纳尺寸台阶高度样块的质量参数评价
- 论述了微纳尺寸台阶高度样块的应用及质量参数的基本要求,以白光干涉仪作为核心仪器研究了主要质量参数的评价方法.以某标称高度为5.μm和10μ.m的台阶高度样块为例进行了各项质量参数的测量,将其测量数据同VLSI标称高度值为...
- 许晓青李锁印冯亚南赵新宇
- 关键词：白光干涉仪
- 接触式台阶测量仪常见故障的调修被引量：2
- 2015年
- 介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了三种故障的调修方法,该方法在我单位台阶测量仪上进行了应用,效果良好,希望能为该类仪器的操作人员和仪器维修人员提供借鉴。
- 韩志国李锁印赵革艳赵新宇
- 关键词：软故障探针测力
- 带有台阶高度的微米级光栅校准样片
- 本实用新型公开了一种带有台阶高度的微米级光栅校准样片，涉及微纳米测量类仪器的校准领域。包括基底、以及在基底上设置的至少一组同一周期尺寸的光栅结构和覆盖在光栅结构表面的金属层；所述一组同一周期尺寸的光栅结构包括同一周期尺寸...
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- 文献传递
- 微米级光栅样片的研制及关键质量参数的评价被引量：4
- 2015年
- 论述了扫描电子显微镜(SEM)应用的广泛性以及光栅样片用于校准扫描电子显微镜的重要性,从选材、图形设计及加工制作等几个方面设计并研制了微米级光栅样片。为方便校准扫描电子显微镜的不同放大倍率,采用分区域图形设计方法将7个不同尺寸的样片结构分布在同一模板上。设计了对样片的关键质量参数(如栅条的直线度及均匀性)的评价方法,并对已试制的光栅样片的栅条宽度、直线度以及均匀性进行了测量。以周期尺寸为2和10μm的样片为例,分析了样片关键质量参数的测量数据。分析结果表明,研制的样片符合作为校准扫描电子显微镜的标准样片的基本条件。
- 赵琳刘庆纲梁法国李锁印许晓青赵革艳赵新宇翟玉卫
- 关键词：直线度
- 微纳尺寸台阶高度样块的质量参数评价被引量：1
- 2016年
- 论述了微纳尺寸台阶高度样块的应用及质量参数的基本要求,以白光干涉仪作为核心仪器研究了主要质量参数的评价方法。以某标称高度为5μm和10μm的台阶高度样块为例进行了各项质量参数的测量,将其测量数据同VLSI标称高度值为8.0μm的标准样块的各项质量参数数据进行比对。结合实验数据,对影响质量参数的相关因素进行了分析,阐述了相应的解决办法。分析结果表明本文所述方法适用于微纳尺寸台阶高度样块的质量参数评价。
- 许晓青李锁印冯亚南赵新宇
- 关键词：平行度粗糙度均匀性稳定性
- 基于VBA的工业铂电阻半自动校准系统被引量：1
- 2014年
- 介绍一种在Excel内嵌的VBA平台上开发的工业铂电阻半自动校准系统,对系统的工作原理及软件流程进行了论述,通过程序实现了判断恒温槽温场变化、自动记录铂电阻阻值数据、在校准(检定)完成后对铂电阻进行自动等级判定、自动生成原始记录和证书等功能,解决了以往工业铂电阻的校准(检定)工作中遇到的数据量大,后期处理繁琐的问题,具有推广价值。
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- 关键词：VBA
- 一种在片薄膜铂电阻温度传感器的校准方法被引量：1
- 2022年
- 在片薄膜铂电阻温度传感器以铂作为感温薄膜,采用半导体工艺制造,可以有效地监测晶圆片上的半导体器件温度。为了校准该类型温度传感器,根据其工作原理和结构特点,参考JJG 229-2010对校准装置的要求,提出了一种利用高低温探针台、八位半数字多用表以及直流探针组建校准装置的方法;通过组建校准装置,测量温度传感器在不同温度下的电阻值,得到电阻-温度特性的分度表;并对在片薄膜铂电阻温度传感器在25℃和125℃2个温度点进行校准。校准数据及校准结果验证表明,该方法切实可行,可有效解决无连接引线的在片铂薄膜电阻温度传感器的校准问题。该校准技术也可为其他类型感温元件的在片温度传感器校准提供参考依据。
- 许晓青李锁印刘晨赵新宇赵革艳吴爱华
- 关键词：计量学温度传感器微传感器校准方法
