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李勇
作品数:
2
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供职机构:
清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室
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相关领域:
机械工程
自动化与计算机技术
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合作作者
朱常兴
清华大学机械工程学院精密测试技...
叶雄英
清华大学机械工程学院精密测试技...
陈旭鹏
清华大学机械工程学院精密测试技...
周兆英
清华大学机械工程学院精密测试技...
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朱常兴
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中国微米纳米...
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2篇
2005
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一种微小型电磁驱动流体控制阀的研究
本文介绍了一种微小型电磁驱动常闭微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件--电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量.该阀具有...
朱常兴
李勇
陈旭鹏
叶雄英
周兆英
关键词:
MEMS
微型阀
文献传递
一种微小型电磁驱动流体控制阀的研究
介绍了一种微小型电磁驱动常闲微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件——电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量。该阀具有工作...
朱常兴
李勇
陈旭鹏
叶雄英
周兆英
关键词:
MEMS
微型阀
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