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冯勇健

作品数：7 被引量：7H指数：2
供职机构：厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院萨本栋微机电研究中心更多>>
相关领域：石油与天然气工程自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

合作作者

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厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院萨本栋微机电研究中心
研究主题：微机电系统 MEMS 射频MEMS开关 牺牲层 氮化硅薄膜
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