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王立发

作品数：29 被引量：44H指数：4
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金天津市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

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中国电子科技集团第十三研究所
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河北工业大学
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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
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