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唐晖
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供职机构:
中国科学院电工研究所
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电子电信
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合作作者
薛虹
中国科学院电工研究所
顾文琪
中国科学院电工研究所
张今朝
中国科学院电工研究所
张福安
中国科学院电工研究所
方光荣
中国科学院电工研究所
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薛虹
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 图形发生器 电子束 扫描电子显微镜
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张今朝
供职机构:中国科学院电工研究所
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顾文琪
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 聚焦离子束 液态金属离子源 电子束曝光 图形发生器
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张福安
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 亚微米 电子束 缩小投影电子束曝光
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卢维美
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 IC 电子束 电子束曝光 微电子技术
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供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:原子力显微镜 电子束 二硼化镁 进针 单质
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方光荣
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:图形发生器 电子束曝光机 电子束 电子束曝光 电子束曝光系统
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王理明
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:生物芯片 电子束曝光机 DY 电子束曝光 机械结构
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彭开武
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:透射电镜 电子束曝光 聚焦离子束 缩小投影电子束曝光 电子束曝光机
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刘俊标
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 电子枪 超声电机 盲文 束流
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