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徐蓓蕾
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6
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复旦大学
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合作作者
屈新萍
复旦大学信息科学与工程学院电子...
李炳宗
复旦大学信息科学与工程学院电子...
茹国平
复旦大学信息科学与工程学院电子...
韩永召
复旦大学信息科学与工程学院电子...
蒋聚小
复旦大学材料科学系
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
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李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI SI
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茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 NISI 微电子 SI 金属栅
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韩永召
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 NI 金属硅化物 SI PT
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蒋聚小
供职机构:复旦大学
研究主题:退火 肖特基势垒 VLSI 接触特性 超大规模集成电路
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任云珠
供职机构:复旦大学材料科学系
研究主题:质谱 XPS SIMS X-射线 VLSI
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王连卫
供职机构:华东师范大学
研究主题:微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
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郑国祥
供职机构:复旦大学材料科学系
研究主题:聚焦离子束 离子注入 铊 分光光度法 FIB
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俞宏坤
供职机构:复旦大学材料科学系
研究主题:无铅焊料 金属间化合物 剪切强度 封装技术 芯片
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朱剑豪
供职机构:香港城市大学
研究主题:离子注入 表面改性 材料表面改性 放电 内表面
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