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姚嫦娲

作品数：34 被引量：0H指数：0
供职机构：上海集成电路研发中心更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

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  • 6个自动化与计算...
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  • 2个一般工业技术
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  • 1个化学工程
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  • 1个医药卫生

主题

  • 6个电极
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  • 5个电路
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  • 4个电路制造
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  • 4个多晶硅
  • 3个导体
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  • 3个等离子体处理
  • 3个电镀
  • 3个电化学抛光
  • 3个镀铜
  • 3个氧化层
  • 3个制程

机构

  • 8个上海集成电路...
  • 1个北京大学

资助

  • 1个国家自然科学...
  • 1个上海市科委科...

传媒

  • 1个半导体技术
  • 1个复旦学报（自...
  • 1个微电子学与计...
  • 1个计算机工程与...
  • 1个集成电路应用
  • 1个中国集成电路
  • 1个科技视界
  • 1个第十六届全国...

地区

  • 8个上海市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
胡正军
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：淀积 清洗方法 硅 干法刻蚀 二氧化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王伟军
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：刻蚀 形貌 刻蚀工艺 图形化 空气隙
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖慧敏
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：CMOS图像传感器 湿法刻蚀 衬底电流 测试装置 测试系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林宏
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：空气隙 填充金属 铜互连 硅片 金属互连线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄仁东
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范春晖
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：硅纳米线 硅衬底 半导体 衬底 自顶向下
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周炜捷
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：干法刻蚀 硅衬底 牺牲层 清洗方法 平坦化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李琛
供职机构：上海集成电路研发中心
研究主题：图像传感器 CMOS图像传感器 像素 图像 感光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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