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林滢
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供职机构:
中国科学院电工研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
薛虹
中国科学院电工研究所
方光荣
中国科学院电工研究所
张鹏
中国科学院电工研究所
商涛
中国科学院电工研究所
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薛虹
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 图形发生器 电子束 扫描电子显微镜
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张鹏
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:图形发生器 蒸发冷却 数字信号处理器 高速数字信号处理器 冷却介质
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商涛
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:图形发生器 高速数字信号处理器 离子束 曝光机 通用串行总线接口
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方光荣
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:图形发生器 电子束曝光机 电子束 电子束曝光 电子束曝光系统
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