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粟雅娟

作品数：66 被引量：24H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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韦亚一
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 掩模 版图 光源 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张利斌
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 掩模 光源 线条 套刻
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陈颖
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：版图 特征向量 光刻 坏点 采样点
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董立松
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻 矢量 掩模 成像模型 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵超
供职机构：清华大学
研究主题：半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱慧珑
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 堆叠 衬底 电子设备
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何建芳
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：掩模 光刻 光源 光刻工艺 仿真方法
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战俊
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：衬底 掺杂 材料结构 FET TMD
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聂鹏飞
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：薄层 机械开关 静电力 石墨烯 导电材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈岚
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：版图 电路 研磨 集成电路版图 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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