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郑心畲

作品数：4 被引量：6H指数：2
供职机构：清华大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

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地区

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共 4 条 记 录，以下是 1-4
李志坚
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘理天
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙曦庆
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：硅基 微马达 测量技术 薄栅 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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