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徐天伟

作品数：21 被引量：14H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：文化科学电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 12个机械工程
  • 12个电子电信
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  • 2个生物学
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  • 1个石油与天然气...
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主题

  • 10个校准
  • 7个定容法
  • 7个多通道
  • 7个信号
  • 6个电路
  • 6个电子学
  • 6个对准标记
  • 5个调焦
  • 5个调谐
  • 5个对焦
  • 5个仪器
  • 5个真空
  • 5个真空规
  • 5个真空规管
  • 4个照明
  • 4个照明系统
  • 3个导热
  • 3个低通
  • 3个低通滤波器
  • 3个电信号

机构

  • 7个中国科学院微...
  • 5个清华大学
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  • 1个中国工程物理...
  • 1个信息产业部
  • 1个中国科学院兰...

资助

  • 6个国家自然科学...
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  • 1个国防基础科研...
  • 1个国防科技技术...
  • 1个国家科技支撑...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个安徽省高等学...
  • 1个国防科技工业...

传媒

  • 7个真空科学与技...
  • 5个真空
  • 4个真空与低温
  • 4个中国真空学会...
  • 4个中国真空学会...
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  • 3个光学学报
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  • 3个真空电子技术
  • 3个中国真空学会...
  • 3个中国真空学会...
  • 3个中国真空学会...
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  • 2个计量与测试技...
  • 2个仪表技术与传...
  • 2个计算机与数字...
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  • 2个第八届全国气...

地区

  • 14个北京市
共 14 条 记 录，以下是 1-10
马向红
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 EUV 次镜 传感器 标准气体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宗明成
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：对焦 光刻机 工件台 硅片 镜筒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丹
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 形貌 工件台 调整装置 数字化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄有为
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：污染物 标准气体 EUV 保护装置 靶材
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
魏志国
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：工件台 标准气体 衍射 弹簧 保护装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙裕文
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 污染物 硅片 EUV 保护装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武志鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 工件台 光刻机 积分饱和 抗积分饱和
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫睿
供职机构：清华大学
研究主题：累积法 检漏 放气率 真空器件 真空材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈旭
供职机构：清华大学
研究主题：校准 检漏 四极质谱计 校准装置 真空计
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
查良镇
供职机构：清华大学
研究主题：校准 二次离子质谱 检漏 SIMS 砷化镓
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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