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张岩
作品数:
7
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供职机构:
中国电子科技集团公司
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自动化与计算机技术
环境科学与工程
电子电信
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合作作者
齐虹
中国电子科技集团公司第四十九研...
李玉玲
中国电子科技集团公司第四十九研...
王晓光
中国电子科技集团公司第四十九研...
尚瑛琦
中国电子科技集团公司第四十九研...
寇文兵
中国电子科技集团公司第四十九研...
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齐虹
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:流量传感器 微机电系统 湿法腐蚀 传感器芯片 MEMS工艺
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李玉玲
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:BCB 苯并环丁烯 键合 加速度计 毛细作用
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供职机构
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尚瑛琦
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:湿法腐蚀 KOH TMAH 加速度 蓝宝石
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王晓光
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:干法刻蚀 刻蚀速率 均匀性 等离子体刻蚀 等离子体
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刘智辉
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:充油式 充油 高温高压 复合传感器 温度补偿
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寇文兵
供职机构:中国电子科技集团公司第四十九研究所
研究主题:传感器 集成化 单晶硅 传感器设计 压力传感器
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陈婧
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:太阳能电池 大尺寸 触摸 冲槽 液晶显示器
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