您的位置： 专家智库 > >

孙曦庆

作品数：10 被引量：12H指数：2
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电气工程电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 6个自动化与计算...
  • 5个电子电信
  • 5个电气工程
  • 4个一般工业技术
  • 4个理学
  • 3个经济管理
  • 3个机械工程
  • 3个文化科学
  • 2个化学工程
  • 2个交通运输工程
  • 1个生物学
  • 1个动力工程及工...
  • 1个核科学技术
  • 1个医药卫生

主题

  • 6个多晶
  • 6个多晶硅
  • 6个压力传感器
  • 5个电路
  • 4个单片
  • 3个单晶
  • 3个单片集成
  • 3个氮化
  • 3个导体
  • 3个电动
  • 3个电动机
  • 2个单晶硅
  • 2个单片电路
  • 2个单片集成电路
  • 2个单芯片
  • 2个氮化硅
  • 2个氮化物
  • 2个氮氧化硅
  • 2个等离子体
  • 2个等效

机构

  • 6个清华大学
  • 2个北京大学
  • 2个东南大学
  • 2个中国科学院
  • 1个北京有色金属...
  • 1个吉首大学
  • 1个北京理工大学
  • 1个香港科技大学

资助

  • 6个国家自然科学...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个中国博士后科...
  • 3个“九五”国家...
  • 3个国家攀登计划
  • 2个北京市科委基...
  • 2个国家科技型中...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个教育部留学回...
  • 2个清华大学科学...
  • 2个国家教育部“...
  • 2个北京市科委项...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个国家重点实验...
  • 2个面向21世纪...
  • 1个高等学校骨干...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个霍英东教育基...
  • 1个清华大学基础...
  • 1个清华大学新型...

传媒

  • 6个Journa...
  • 5个仪表技术与传...
  • 4个传感器技术
  • 4个半导体技术
  • 4个电子学报
  • 4个微电子学
  • 3个仪器仪表学报
  • 3个清华大学学报...
  • 3个真空科学与技...
  • 3个传感技术学报
  • 3个微细加工技术
  • 3个微纳电子技术
  • 2个光学精密工程
  • 2个声学学报
  • 2个中国机械工程
  • 2个功能材料
  • 2个测控技术
  • 2个电子器件
  • 2个功能材料与器...
  • 2个固体电子学研...

地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
李志坚
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：微机械 MEMS 硅 铁电薄膜 微麦克风
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘理天
供职机构：清华大学
研究主题：MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢会开
供职机构：北京理工大学
研究主题：MEMS 驱动臂 传感器 镜面 静电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
费圭甫
供职机构：清华大学信息科学技术学院微电子学研究所
研究主题：存储器 数字集成电路 EEPROM N E^2PROM
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱佩信
供职机构：清华大学
研究主题：SIGE HBT SIGE_HBT SOI UHV/CVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑心畲
供职机构：清华大学
研究主题：压力传感器 多晶硅 力传感器 传感器 MOS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0