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罗杨

作品数：3 被引量：7H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 1个电气工程

主题

  • 3个抛光
  • 3个抛光机
  • 3个蓝宝
  • 3个蓝宝石
  • 3个化学机械抛光
  • 3个机械抛光
  • 3个PG
  • 3个CMP工艺
  • 2个压力控制
  • 2个正交
  • 2个正交试验
  • 2个蠕动泵
  • 2个抛光效果
  • 2个去除率
  • 2个转速
  • 2个温度
  • 2个温度控制
  • 2个泵头
  • 2个CMP
  • 1个电池

机构

  • 3个中国电子科技...

资助

  • 3个国家高技术研...

传媒

  • 3个电子工业专用...
  • 1个电子工艺技术
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高慧莹
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 蓝宝石 衬底材料 LED 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘涛
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 泵头 蠕动泵 压力控制 CMP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
费玖海
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 温度控制 CMP工艺 PG
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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