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杨帆

作品数：27 被引量：10H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
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李凡星
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：成像 测量方法 干涉条纹 工件台 调制度
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严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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田鹏
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：测量方法 干涉图像 干涉条纹 调制度 全息
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胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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邓钦元
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：宽光谱 调制度 数值孔径 光刻机 光刻
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周毅
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：宽光谱 调制度 数值孔径 超分辨 光刻机
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杨杰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：激光跟踪仪 测量问题 光学元件 工件台 气浮
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何渝
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻 数字微镜 衍射 工件台 成像
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刘俊伯
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 数值孔径 光刻 投影光刻机 波像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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