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黄有为

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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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宗明成
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：对焦 光刻机 工件台 硅片 镜筒
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐天伟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：EUV 光刻机 污染物 电子学 次镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙裕文
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 污染物 硅片 EUV 保护装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李世光
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 光刻 光刻机 工件台 极紫外
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魏志国
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：工件台 标准气体 衍射 弹簧 保护装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马向红
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 EUV 次镜 传感器 标准气体
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盖洪峰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：高能 发生器 极紫外 紫外光 能量转换效率
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陈浩
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：高能 发生器 极紫外 紫外光 能量转换效率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王丹
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光刻机 形貌 工件台 调整装置 数字化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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