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佟军民

作品数：27 被引量：61H指数：5
供职机构：许昌职业技术学院更多>>
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合作作者

领域

  • 30个机械工程
  • 28个自动化与计算...
  • 23个文化科学
  • 23个理学
  • 21个电子电信
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  • 8个生物学
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  • 5个建筑科学
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  • 4个矿业工程
  • 4个航空宇航科学...

主题

  • 20个衍射
  • 19个掩模
  • 17个投影光刻
  • 15个信号
  • 14个等离子体
  • 14个电机
  • 14个掩模板
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  • 11个调平
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  • 10个电子束曝光
  • 9个单片机
  • 9个电子束曝光机
  • 8个衍射理论
  • 7个电池
  • 6个电荷耦合
  • 6个电荷耦合器

机构

  • 19个中国科学院
  • 8个许昌职业技术...
  • 8个中国科学院研...
  • 4个中国科学院大...
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  • 1个兰州大学
  • 1个华中师范大学
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  • 1个西北农林科技...
  • 1个华南理工大学
  • 1个江西蓝天学院

资助

  • 26个国家自然科学...
  • 17个国家高技术研...
  • 7个中国科学院知...
  • 6个国家科技重大...
  • 5个国家重点基础...
  • 5个中国科学院西...
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传媒

  • 19个光学学报
  • 15个光电工程
  • 15个微纳电子技术
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  • 11个中国激光
  • 11个电子工业专用...
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  • 8个光子学报
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  • 5个农机化研究
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  • 4个机床与液压
  • 4个计算机应用
  • 4个机械设计与制...

地区

  • 15个四川省
  • 9个河南省
  • 2个江苏省
  • 2个北京市
  • 1个湖南省
  • 1个江西省
  • 1个西藏
  • 1个浙江省
  • 1个广东省
共 33 条 记 录，以下是 1-10
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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余国彬
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻分辨力 相机 投影光刻物镜 深空探测 投影光刻
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马广礼
供职机构：许昌职业技术学院
研究主题：泥炭藓沼泽 亚高山 泥炭藓 植物多样性 水杉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俎艺
供职机构：许昌职业技术学院
研究主题：艺术设计 绩效评价 专业群建设 专业群 DEMATEL
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘俊伯
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 数值孔径 投影光刻机 光刻 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐勇
供职机构：温州职业技术学院
研究主题：仿真 介质阻挡放电 精密剪切 液位计 悬臂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李孟清
供职机构：南华大学机械工程学院
研究主题：质量管理 微机平台 注塑模型腔 注塑模 信息系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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