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周志奇

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 2个电子电信
  • 1个一般工业技术

主题

  • 2个电路
  • 2个电路工艺
  • 2个通风
  • 2个通风设计
  • 2个排气
  • 2个抛光
  • 2个抛光设备
  • 2个化学机械抛光
  • 2个机械抛光
  • 2个集成电路
  • 2个集成电路工艺
  • 2个减薄
  • 1个氮化镓
  • 1个电池
  • 1个压电
  • 1个压电陶瓷
  • 1个压电效应
  • 1个印刷
  • 1个印刷工
  • 1个印刷工艺

机构

  • 2个中国电子科技...

资助

  • 1个国家高技术研...

传媒

  • 2个电子工业专用...
共 2 条 记 录，以下是 1-2
杨师
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 集成电路 SEMI 半导体制造设备 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
费玖海
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 温度控制 CMP工艺 PG
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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