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刘志祥

作品数：36 被引量：70H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>

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吕保斌
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光焦度 大数值孔径 数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢廷文
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
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林妩媚
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马冬梅
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：干涉仪 面形误差 面形检测 点衍射干涉仪 面形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢延文
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：投影物镜 光学系统 大数值孔径 像差 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖志远
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：数值孔径 光焦度 大数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白瑜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光学设计 数值孔径 光焦度 大数值孔径 红外光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱红伟
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
许嘉俊
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：空间滤波器 小孔 波片 衍射 面形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓超
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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