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- 电容式MEMS加速度计
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- 马瑞菲•哈桑黄莉
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- 2023年
- 为了扩大加速度计的测量范围、提高其灵敏度并且控制成本,提出一种差分电容式MEMS加速度计,并介绍了其敏感机理,即输入加速度时硅质量块产生相应位移,与钯银电极形成差分电容。通过建立输入加速度、电容差及输出电压三者之间的关系,即可检测z轴加速度。使用有限元分析,设置加速度为±100g范围内,对该加速度计支撑梁厚度变化时其应力、位移变化情况进行计算和分析。结果表明,差分电容式MEMS加速度计具有加速度计效应,加速度在±100g范围内线性度良好。加速度计在梁厚为0.058 mm时,输入加速度和位移的最佳比例系数为10-7m/g,其机械灵敏度、位移灵敏度和电容灵敏度较梁厚为0.075 mm时分别提高了10%、38%和37.9%。该研究为后续结构改进、性能优化奠定了理论基础。
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- 电容式MEMS加速度计非线性校准系统设计与实现
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- 本文阐述了电容式MEMS加速度计出现较大的非线性系数以及正负标度因子不一致问题的原因,为此设计并实现了一套基于补偿电容法的MEMS加速度计非线性校准系统,并使用优化算法来提高校准效率,校准偿后传感器的二阶非线性系数可达到10^(-4)量级。
- 丁涛涛赵正前车录锋
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- 耐高冲击过载电容式微加速度计设计被引量：3
- 2021年
- 针对近年来常规弹药制导化改造对经历高动态环境的加速度传感器的迫切需求,该文设计了一种抗高过载、低量程的微机电系统(MEMS)电容式加速度传感器。该加速度传感器使用4组折叠梁组对可动结构进行支撑,并带动其在敏感方向移动,同时敏感结构采用差分式电容检测结构和叉齿止档限位结构方案,降低了结构受冲击时的区域应力,提高了输出信号增益及传感器灵敏度。理论计算和有限元分析结果表明,传感器轴向灵敏度为0.22 pF/g(g=9.8 m/s2),可承受轴向幅值为3×104g、脉宽约8 ms的加速度冲击。
- 刘翔天赵锐李飞石云波刘小柔都捷豪
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- 三轴电容式微加速度计
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- 文献传递
- 抗辐照电容式微加速度计接口电路研究与实现
- 电容式加速度传感器是目前研究最多的一类加速度传感器。随着我国航空航天事业的蓬勃发展，加速度传感器作为导航制导的关键器件广泛应用于运载火箭、人造卫星等领域中。在这些使用环境下加速度传感器会暴露于不同程度和不同形式的辐射中，...
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- 唐彬
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