付世
- 作品数:20 被引量:37H指数:3
- 供职机构:上海交通大学更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金沈阳市科技局资助项目更多>>
- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 微机电系统的研究与分析被引量:11
- 2004年
- 详细介绍了微机械电子系统的内涵。内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域 .还介绍了微机械电子系统加工工艺 ,阐明了其涉及的科学技术问题 ,对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论。
- 沈桂芬张宏庆韩宇范军付世丁德宏姚朋军
- 关键词:微机电系统微型传感器MEMS
- 摇摆式电磁型微机电系统继电器
- 一种电气元件技术领域的摇摆式电磁型微继电器,包括:转子永磁片、轴、转子软磁片、定子绕组、悬臂梁、外壳、触头、封盖、开口、定位销、引线接点、馈电触点,转子软磁片作为转子永磁片的衬底,转子永磁片和转子软磁片相叠合,两者构成转...
- 丁桂甫付世孙晓峰
- 文献传递
- 硅压力传感器的非线性的研究
- 本文分析了硅压力传感器的线性与非线性,讨论了非线性产生的原因,并且提出了硅压力传感器的优化设计方法.
- 沈桂芬付世丁德宏姚朋军张宏庆范军
- 关键词:压力传感器非线性线性度内补偿
- 文献传递
- 多孔硅的能带与发光机制的研究与分析
- 2004年
- 在光致发光技术对多孔硅光学性质研究的基础上讨论了与多孔硅的微观结构有关的多孔硅的能带结构,用能量赝势法模拟计算出多孔硅的能带间隙.
- 丁德宏张宏付世姚朋军范军张宏庆沈桂芬
- 关键词:多孔硅发光机制表面态光致发光
- 一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制被引量:3
- 2006年
- 介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器件在脉冲间歇能够保持稳定状态而无需额外功耗.测试结果表明,这种新型电磁微继电器具有体积小,功耗低,响应速度快,接触电阻小等优点.
- 付世丁桂甫王艳
- 关键词:微机电系统双稳态
- 基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真被引量:4
- 2008年
- 基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关。较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏。对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.24ms和10μs,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果,随加速度的增加惯性开关的响应时间减小,两电极的接触时间增加。
- 杨卓青丁桂甫蔡豪刚付世赵小林
- 关键词:微型惯性开关动力学仿真
- 多孔硅的能带变化及光致发光的研究
- 2004年
- 多孔硅与硅材料相比,有明显的可见光致发光特性,其原理可用量子限制模型给予解释。文章通过对多孔硅的光致发光、光电子辐射、光电效应和X光吸收方面的实验的讨论,研究了退火对多孔硅导带和价带边缘的量子漂移的影响。对于大多数多孔硅,过高的退火温度可造成多孔硅的导带和价带边缘的量子漂移的改变。
- 沈桂芬范军张宏庆付世丁德宏姚朋军
- 关键词:多孔硅退火
- 新型复合结构电热微驱动器的研制被引量:2
- 2008年
- 在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上,通过引入热膨胀系数更大的聚合物,提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件,对其基本结构形式进行了系统的仿真分析,得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明:新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术,成功制备了新型复合结构电热微驱动器。
- 曾文光丁桂甫王艳付世蔡玉丽
- 关键词:复合结构有限元分析
- 用于MEMS惯性开关的微弹簧有限元动力学分析被引量:3
- 2008年
- 设计水平和垂直方向两种驱动形式MEMS(micro-electro-mechanical system)惯性开关,应用ANSYS10.0有限元软件对其中的镍质微弹簧结构进行实体建模和动力学模拟分析,得到其在动载荷下的应力分布情况和端部位移响应曲线,并比较静动载荷下结构参数对微弹簧水平和垂直方向上弹性常数(klevel和kvertic)的影响规律。文中的有限元动力学分析方法为较准确地评定类似MEMS微弹簧弹性常数提供一条有效途径,具有工程实际应用价值,特别是为动载荷下工作的惯性类微器件中弹簧的进一步优化与加工提供重要依据。
- 杨卓青丁桂甫蔡豪刚付世赵小林
- 关键词:惯性开关有限元动力学
- 实现定量和混合的PDMS微流体器件的研究
- 介绍了实现微流体的精确定量和快速混合的基本方法,设计并制作了采用基于PDMS通道的微流体器件。
- 付世董良岳瑞峰刘理天
- 关键词:PDMS
- 文献传递