宋义超
- 作品数：9 被引量：6H指数：2
- 供职机构：北京工业大学电子信息与控制工程学院北京市光电子技术实验室更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划北京市人才强教计划项目国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信理学建筑科学更多>>
- 应力对硅悬空薄膜的机械灵敏度的影响
- 本文运用四周固支薄板小挠度理论,分析了存在较大残余应力的浓硼重掺杂硅悬空薄膜的力学特性.给出了小挠度下,在外界载荷作用下总应力表达式和薄膜机械灵敏度表达式,并分析了残余应力对二者的影响.研究表明,对存在较大残余应力的硅薄...
- 宋义超徐晨赵林林李博沈光地
- 关键词：微电子机械系统残余应力
- 文献传递
- 大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究被引量：2
- 2006年
- 研究了MEMS中的悬空薄膜制备技术.用浓硼扩散自终止腐蚀法和PECVD淀积法分别进行了试验,得到了宽厚比为3000∶1的悬空浓硼Si薄膜和宽厚比为9000∶1的SiNx薄膜.对它们的力学特性进行了分析,用纳米硬度计测量了薄膜的杨氏模量.比较了两种方法的优劣.
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- 关键词：杨氏模量
- 薄膜制备中的微蚀孔问题
- 2007年
- 研究了自终止腐蚀停法制备浓硼重掺杂硅薄膜的腐蚀孔问题.许多MEMS结构需要进行2次或2次以上的深刻蚀,有些需要在多次深刻蚀后释放超薄的悬空薄膜结构,这时薄膜表面极易出现微小的腐蚀孔.分析可知,微蚀孔并不完全在第2次腐蚀的过程中形成,而是从第1次深腐蚀过程中对掩膜层的钻蚀开始的.对掩膜层的钻蚀,导致硅表面出现轻微腐蚀,形成细小的凹坑,并在浓硼扩散和第2次深腐蚀中被放大,最终在成膜过程中形成小孔.分析了微蚀孔的成因,提出了工艺上的解决方法,形成了一套重复性好的成膜工艺.
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- 关键词：深刻蚀
- 双腔平衡式气动室温红外探测器
- 本发明涉及一种双腔平衡式气动室温红外探测器，属于探测器领域。包括吸收腔(10)、覆盖于吸收腔上的红外窗口(2)、在吸收腔壳体上的敏感薄膜(6)以及检测敏感薄膜形变的元件(14)，特征在于：在敏感薄膜(6)的另一侧设置平衡...
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- 文献传递
- 特气直接吸收红外探测器研究
- 当前社会已进入信息社会。红外领域的信息获取-红外探测技术大量应用于预警、制导、夜视、跟踪及空间技术、天文、医学等领域,需求规模在不断扩大。正是在这种需求规模的不断驱动下,红外探测器的开发研制和工业生产都有了突飞猛进的发展...
- 宋义超
- 关键词：红外探测器封装测试MEMS技术
- 文献传递
- 特气红外探测器的温度分析被引量：3
- 2008年
- 为了改进特气红外探测器的性能,本文运用热传导理论,分析了在一定功率的单色均匀红外射线激励下的温度变化情况,提出近似模型建立了吸收腔的热传导方程;求解方程得到了吸收腔内各处温度变化和平均温度变化的确切表达式,分析表明特气红外探测器的响应度(气体平均温升决定)与吸收腔的腔深l成线性关系,与特气吸收系数αλ成非线性关系。进而建立了非单色红外射线激励下的热传导方程,提出求解方法。
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- 关键词：特气红外探测器
- 特气室温红外探测器的噪声分析(英文)被引量：1
- 2009年
- 由MEMS技术制备的特气室温红外探测器的噪声主要包括温度噪声、机械热噪声和背景噪声。从理论上建立了器件的基本热模型,推导得到器件的等效热熔和等效热导分别为8.1μJ/K和1.0×10-3W/K,温度噪声约为1.73×10-10W/Hz1/2;通过器件的工作机理和能量均分原理,推导得到热机械噪声的等效噪声功率约为9.96×10-9W/ Hz1/2,器件的背景噪声约为3 .22×10-11W/Hz1/2,从而得出器件的归一化探测率约为9 .03×106cm.Hz1/2/W。实验表明,器件的噪声中热机械噪声为主要噪声源,大小主要由浓硼硅薄膜的机械性能和器件结构决定,可以通过增大薄膜厚度,减小薄膜面积,从而增加薄膜的特征频率的方法来减小器件受外界振动的影响,但以降低器件的灵敏度为代价。另外环境振动噪声也对器件的影响很大。为了减小外界气压和温度变化的影响,提出了一种新型的双腔结构来减小和平衡外界环境变化引入的噪声。
- 徐晨戴天明宋义超李晓波邓琛
- 关键词：红外探测器等效噪声功率微机电系统
- 应力对硅悬空薄膜的机械灵敏度的影响
- 2006年
- 运用四周固支薄板小挠度理论,分析了存在较大残余应力的浓硼重掺杂硅悬空薄膜的力学特性.给出了小挠度下,在外界载荷作用下总应力表达式和薄膜机械灵敏度表达式,并分析了残余应力对二者的影响.研究表明,对存在较大残余应力的硅薄膜,总应力和机械灵敏度主要由残余应力决定,其中机械灵敏度较忽略残余应力时的值减小三个数量级.
- 宋义超徐晨赵林林李博沈光地
- 关键词：微电子机械系统总应力残余应力
- 大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究
- 本文研究了MEMS中的悬空薄膜制备技术.用浓硼扩散自终止腐蚀法和PECVD淀积法分别进行了试验,得到了宽厚比为3000∶1的悬空浓硼Si薄膜和宽厚比为9 000∶1的SiNx薄膜.对它们的力学特性进行了分析,用纳米硬度计...
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- 关键词：杨氏模量
- 文献传递
