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王伟

作品数：22 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司更多>>
相关领域：电子电信电气工程自动化与计算机技术经济管理更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 3篇电气工程
  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 9篇硅片
  • 4篇电路
  • 4篇执行器
  • 4篇抛光
  • 4篇末端执行器
  • 4篇晶圆
  • 4篇化学机械抛光
  • 4篇机械抛光
  • 4篇集成电路
  • 4篇半导体
  • 3篇晶片
  • 3篇夹持
  • 2篇导向环
  • 2篇电传感器
  • 2篇电磁
  • 2篇电磁兼容
  • 2篇电磁兼容性
  • 2篇电磁兼容性设...
  • 2篇心轴
  • 2篇压力源

机构

  • 20篇中国电子科技...

作者

  • 20篇王伟
  • 8篇李伟
  • 5篇陈威
  • 2篇刘庆川
  • 2篇刘洪涛
  • 2篇张斌
  • 2篇赵鹤然
  • 2篇刘岩松

传媒

  • 2篇电子质量
  • 2篇2004年全...

年份

  • 1篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2014
  • 3篇2013
  • 2篇2012
  • 1篇2011
  • 7篇2010
  • 4篇2004
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
用于封装集成电路的方法
本发明公开了一种用于封装集成电路的方法，该方法包括：将包含焊料环的盖板盖在待封装的集成电路的管壳上；在盖板的中部放置分压环，分压环设计成其周长与盖板的周长的比值介于0.6～1之间；利用压力源在分压环的中部施加压力，将盖板...
田爱民王伟刘岩松赵鹤然张斌刘庆川刘洪涛
应用于硅片化学机械抛光设备中的机械手终端夹持执行器
提供了一种应用于硅片化学机械抛光设备中的机械手终端夹持执行器，所述终端夹持执行器主要采用真空夹持技术，包括吸附口、真空通道、夹持主体和转动连接头等部件。利用真空发生器，通过夹持主体中的真空通道是否处于真空状态，来实现该终...
高文泉李伟王伟王东辉郭强生
文献传递
化学机械抛光设备用抛光台温度控制装置
本实用新型提供了化学机械抛光设备用抛光台温度控制装置，涉及化学机械抛光设备上用的抛光台温度控制装置技术领域。包括抛光台的温度检测部分，与流体循环式管道相连的换热器、泵和减压阀，流体管道中设有温度变送器、流量变送器和流量调...
王东辉郭强生柳滨王伟
文献传递
片盒晶圆实时检测装置
本发明涉及一种半导体设备制造行业中片盒晶圆实时检测装置，它包括设置在片盒一侧的带有投光器的左立柱以及和左立柱的位置相对应设置在片盒的另一侧的带有受光器的右立柱，每一组对应的投光器和受光器设置的高度分别和所对应的片盒上的片...
王伟柳滨郭强生李伟王东辉
文献传递
应用于硅片化学机械抛光设备中的定位转换装置
本发明涉及一种定位装置。装置主要包括基板、驱动装置和定位在基板上的由驱动装置驱动的同步定位装置。采用硅片托来放置机械手干末端执行器运送过来的待抛光硅片，伺服电机驱动齿轮转动，齿轮和转盘啮合，进而带动与转盘相连接的各拉钩件...
高文泉王伟李伟王东辉郭强生
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用于封装集成电路的方法
本发明公开了一种用于封装集成电路的方法，该方法包括：将包含焊料环的盖板盖在待封装的集成电路的管壳上；在盖板的中部放置分压环，分压环设计成其周长与盖板的周长的比值介于0.6～1之间；利用压力源在分压环的中部施加压力，将盖板...
田爱民王伟刘岩松赵鹤然张斌刘庆川刘洪涛
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应用于硅片化学机械抛光设备中的定位转换装置
本发明涉及一种定位装置。装置主要包括基板、驱动装置和定位在基板上的由驱动装置驱动的同步定位装置。采用硅片托来放置机械手干末端执行器运送过来的待抛光硅片，伺服电机驱动齿轮转动，齿轮和转盘啮合，进而带动与转盘相连接的各拉钩件...
高文泉王伟李伟王东辉郭强生
化学机械抛光设备硅片定位装片装置
本发明提供了一种化学机械抛光设备硅片定位装片装置，涉及化学机械抛光设备技术领域。具有装载底盘，装载底盘上固定有装载引导环，装载引导环内设有第1斜倒角和第2斜倒角；装载底盘上设有水压喷嘴，水压喷嘴与可装在第2斜倒角上的硅片...
高文泉廖垂鑫陈威李伟王伟柳滨
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AV4061型频谱分析仪的热设计
2004年
本文介绍了AV4061型频谱分析仪热设计所采用的方法和措施。
王伟
关键词：AV热设计频谱分析仪
边缘接触夹持式晶圆末端执行器
本发明提供了一种边缘接触夹持式晶圆末端执行器，涉及化学机械抛光设备技术领域。具有晶圆片座，晶圆片座内至少设有2个伸缩式边缘接触夹持指钩，边缘接触夹持式指钩和伸缩装置相连；晶圆片座上至少设有第3个边缘接触夹持触点。本发明很...
李伟柳滨陈威王东辉王伟
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