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陈文锦

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院合肥物质科学研究院更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇氮化镓
  • 2篇低压化学气相...
  • 2篇电流集边效应
  • 2篇电子回旋共振
  • 2篇淀积
  • 2篇气相淀积
  • 2篇外延法
  • 2篇化学气相
  • 2篇化学气相淀积
  • 2篇铝

机构

  • 2篇中国科学院合...

作者

  • 2篇李新化
  • 2篇邱凯
  • 2篇陈文锦
  • 2篇陈家荣
  • 2篇王玉琦

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
具有低电流集边效应的金属/氮化镓铝/氮化镓横向肖特基二极管及其制备方法
本发明公开了一种具有低电流集边效应的金属/氮化镓铝/氮化镓横向肖特基二极管及其制备方法。二极管为衬底(1)上有氮化镓层(2)、正极、负极(3)和掩模(4)，正极含氮化镓铝层(8)、肖特基接触金属层(7)、多晶硅层(6)和...
陈家荣王玉琦陈文锦邱凯李新化
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金属/氮化镓铝/氮化镓横向肖特基二极管及其制备方法
本发明公开了一种具有低电流集边效应的金属/氮化镓铝/氮化镓横向肖特基二极管及其制备方法。二极管为衬底(1)上有氮化镓层(2)、正极、负极(3)和掩模(4)，正极含氮化镓铝层(8)、肖特基接触金属层(7)、多晶硅层(6)和...
陈家荣王玉琦陈文锦邱凯李新化
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