郑锋
- 作品数：9 被引量：8H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 发文基金：国防基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程航空宇航科学技术更多>>
- 硅MEMS惯性传感器研究和开发
- 介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±501g MEMS电子表容力平衡加速度传感器,即将定型±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g...
- 杨拥军徐爱东郑锋徐永青何洪涛卞玉民吝海锋吕树海罗蓉邹学锋
- 关键词：MEMS加速度传感器
- 文献传递
- Si微电容式加速度计动态参数的提取
- 2008年
- 介绍了一种电容式微Si加速度计的基本结构以及静电激振法用于电容加速度计动态参数测试的基本原理。提出了在开环条件下,采用静电激振法对该类型电容加速度计动态参数测试的电路方案。通过分析获得了扫频特性曲线和阶跃响应曲线,得到了传感器的固有频率、阻尼比。试验结果表明,采用静电激振法得到的结果与传感器设计值比较接近。可以认为,开发的动态参数测试系统是快速且有效的。
- 郑锋卞玉民
- 关键词：微机电系统加速度计电容动态参数
- MEMS压阻加速度传感器阻尼特性研究被引量：8
- 2008年
- 研究了空气阻尼对MEMS压阻加速度传感器性能的影响,建立了传感器动力学模型和空气阻尼模型,分析了空气间隙大小与传感器阻尼系数的相互关系,通过控制空气间隙可以达到控制加速度传感器阻尼的目的。根据分析结果设计了三明治结构封装的传感器,应用有限元仿真软件,对传感器的应力和应变进行了仿真计算,完成传感器结构参数设计;采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装工艺,制作了MEMS压阻加速度传感器。测试结果表明,采用三明治结构封装形式,可以控制压阻加速度传感器的阻尼特性,为提高传感器性能提供了途径。
- 卞玉民郑锋何洪涛
- 关键词：压阻加速度传感器阻尼圆片级封装
- MEMS电容式加速度计可靠性研究
- 探讨了MEMS电容式加速度计的结构、电路、制造工艺和系统等各方面的可靠性,总结出了表面粘附、结构断裂、分屡失效和辐射失效等几种主要失效模式,并进行相应的失效机理分析。通过可靠性实验进行了验证,发现非致命的环境影响因素中,...
- 吝海锋吕苗杨拥军师谦郑锋恩云飞
- 关键词：微电子机械系统电容式加速度计可靠性
- 文献传递
- 硅MEMS惯性传感器的研究和开发
- 介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况。主要有已定型的±50g MEMS电容力平衡加速度传感器,即将定型的±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分...
- 杨拥军徐爱东郑锋徐永青何洪涛卞玉民吝海锋吕树海罗蓉邹学锋
- 关键词：加速度传感器惯性传感器
- 文献传递
- 第一部分:微机械惯性仪表研制与应用 硅MEMS惯性传感器研究和开发
- 介绍了中国电子科技集团公司第十三研究所在MEMS惯性传感器方面的研究和开发情况.主要有已定型的±50gMEMS电容力平衡加速度传感器,即将定型的±70g二维MEMS电容力平衡加速度传感器,准备定型的±2g,±10g高分辨...
- 杨拥军徐爱东郑锋徐永青何洪涛卞玉民吝海锋吕树海罗蓉邹学锋
- 关键词：加速度传感器热对流振动陀螺仪标度因数重力加速度惯性传感器
- 文献传递
- 高深宽比结构的电容式加速度计
- 本实用新型公开了一种高深宽比结构的电容式加速度计，它涉及半导体MEMS制造领域中的一种高灵敏度加速度计。它由玻璃衬底、硅质量块、玻璃衬底电极、硅玻璃键合台面、悬臂梁、硅定梳尺、硅动梳尺、硅片等部件组成。硅定梳尺通过硅－玻...
- 何洪涛杨拥军郑锋徐爱东徐永青李海军罗蓉
- 文献传递
- 一种MEMS惯性器件测试系统
- 本发明提供一种MEMS惯性器件测试系统，包括：旋转模块、第一采集模块、滑环线、第二采集模块和控制模块；旋转模块包括转轴和环绕转轴设置的2<Sup>n</Sup>个测试端口，用于对应测试2<Sup>n</Sup>个以内的待...
- 卢新艳任臣郑锋许鹏杨拥军
- 文献传递
- 一种MEMS惯性器件测试系统
- 本发明提供一种MEMS惯性器件测试系统，包括：旋转模块、第一采集模块、滑环线、第二采集模块和控制模块；旋转模块包括转轴和环绕转轴设置的2<Sup>n</Sup>个测试端口，用于对应测试2<Sup>n</Sup>个以内的待...
- 卢新艳任臣郑锋许鹏杨拥军
