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陈雨

作品数:13 被引量:1H指数:1
供职机构:中国电子科技集团第五十四研究所更多>>
发文基金:中国人民解放军总装备部预研基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 10篇专利
  • 3篇期刊文章

领域

  • 5篇电子电信

主题

  • 7篇光刻
  • 5篇基板
  • 4篇光刻胶
  • 3篇腔体
  • 3篇牺牲层
  • 3篇开关
  • 3篇基材
  • 3篇LCP
  • 3篇MEMS开关
  • 2篇掩模
  • 2篇掩模版
  • 2篇衍射
  • 2篇依赖度
  • 2篇三明治
  • 2篇坡面
  • 2篇阻挡层
  • 2篇基板制造
  • 2篇夹心型
  • 2篇和光
  • 2篇反射面

机构

  • 13篇中国电子科技...
  • 1篇东南大学
  • 1篇电子科技大学

作者

  • 13篇徐亚新
  • 13篇梁广华
  • 13篇陈雨
  • 12篇刘晓兰
  • 10篇赵飞
  • 10篇党元兰
  • 3篇唐小平
  • 2篇贾世旺
  • 2篇刘颖
  • 2篇肖垣明
  • 2篇张莹
  • 1篇卢会湘
  • 1篇严英占
  • 1篇韩磊
  • 1篇王志刚

传媒

  • 2篇电子与封装
  • 1篇电子工艺技术

年份

  • 1篇2020
  • 3篇2019
  • 5篇2018
  • 1篇2017
  • 3篇2016
13 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于SIW的窄带滤波器加工工艺研究
2018年
基片集成波导(SIW)技术是一种在介质基板上通过金属化孔实现波导传输结构的技术,具有波导损耗低、品质因数高和功率容量大等优点,是目前微波毫米波领域的研究热点。研究了基于硅基的SIW窄带滤波器的加工工艺,对加工过程中影响滤波器性能的关键参数进行研究分析并优化,在此基础上加工出一款窄带滤波器,通过性能测试,滤波器带内差损4.3~4.5 d B,与仿真结果一致。
梁广华王志刚贾世旺赵飞徐亚新刘晓兰陈雨庄治学
关键词:SIW滤波器
一种掩模版及光波导反射面和光波导的制备方法
本发明公开了一种掩模版及光波导反射面和光波导的制备方法,涉及光传输结构及制造技术领域。其通过一种特殊设计的掩模版实现对光刻过程的透光量的控制,当紫外光穿过掩模版时,不同透光量位置处的光刻深度不同,从而形成一个坡面结构,同...
肖垣明赵飞党元兰陈雨刘晓兰梁广华徐亚新庄治学张莹卢立东
文献传递
一种LTCC厚薄膜混合基板制造中的基板腔体填充方法
本发明公开了LTCC厚薄膜混合基板制造领域中的一种基板腔体填充方法—UV膜腔体填充法,包括UV膜厚度、热切成型所用的UV膜载体材料、UV膜外形尺寸、多层UV总厚度与腔体高度差等。采用本发明的技术方案,其工艺简单易行、基板...
党元兰赵飞徐亚新梁广华刘晓兰陈雨庄志学李攀峰
一种LCP基材的RF MEMS开关制备方法
本发明涉及MEMS器件制造领域,特别涉及一种LCP基材的RFMEMS开关制备方法,主要包括基板清洗、覆铜面镀金及后处理、溅射前干法处理、光刻前LCP基板与硬性基板无间隙复合、CPW图形制作、RF传输线上二氧化硅绝缘层的制...
党元兰赵飞徐亚新刘晓兰梁广华陈雨庄治学唐小平周拥华李朝刘志斌李可龚孟磊刘颖何超邢伯仑
文献传递
一种三明治夹心型光刻胶牺牲层的制备方法
本发明公开了RF MEMS器件制造领域的一种三明治夹心型光刻胶牺牲层的制备方法,主要包括下层光刻胶的制备、生长阻挡层、上层光刻胶的制备、Cu层的刻蚀和热处理5个步骤。此方法通过Cu阻挡层的引入,避免了两层光刻胶之间互溶的...
陈雨党元兰刘晓兰庄治学梁广华徐亚新
文献传递
一种掩模版及光波导反射面和光波导的制备方法
本发明公开了一种掩模版及光波导反射面和光波导的制备方法,涉及光传输结构及制造技术领域。其通过一种特殊设计的掩模版实现对光刻过程的透光量的控制,当紫外光穿过掩模版时,不同透光量位置处的光刻深度不同,从而形成一个坡面结构,同...
肖垣明赵飞党元兰陈雨刘晓兰梁广华徐亚新庄治学张莹卢立东
文献传递
一种基于光敏BCB技术的兰格耦合器制备工艺研究
2018年
根据介质隔离兰格耦合器的结构特点,设计了基于BCB介质桥的兰格耦合器的加工工艺流程。通过对工艺流程中的关键技术和重要影响因素进行分析,得到了加工过程中的工艺参数。按此工艺参数进行加工,得到兰格耦合器样件,与空气桥兰格耦合器相比,在保证电性能的基础上提高了组装的可靠性。
梁广华贾世旺赵飞韩威徐亚新庄治学陈雨刘晓兰何超
关键词:光刻工艺兰格耦合器
一种LCP基材的RF MEMS开关制备方法
本发明涉及MEMS器件制造领域,特别涉及一种LCP基材的RFMEMS开关制备方法,主要包括基板清洗、覆铜面镀金及后处理、溅射前干法处理、光刻前LCP基板与硬性基板无间隙复合、CPW图形制作、RF传输线上二氧化硅绝缘层的制...
党元兰赵飞徐亚新刘晓兰梁广华陈雨庄治学唐小平周拥华李朝刘志斌李可龚孟磊刘颖何超邢伯仑
文献传递
一种LTCC厚薄膜混合基板制造中的基板腔体填充方法
本发明公开了LTCC厚薄膜混合基板制造领域中的一种基板腔体填充方法—UV膜腔体填充法,包括UV膜厚度、热切成型所用的UV膜载体材料、UV膜外形尺寸、多层UV总厚度与腔体高度差等。采用本发明的技术方案,其工艺简单易行、基板...
党元兰赵飞徐亚新梁广华刘晓兰陈雨庄志学李攀峰
文献传递
一种RF-MEMS开关复合牺牲层制备方法
本发明公开了一种RF‑MEMS开关复合牺牲层制备方法,属于RF‑MEMS器件制造技术领域。该方法包括平坦化填充、金属牺牲层溅射刻蚀、光刻胶牺牲层制备等步骤。采用本发明方法,可以提高MEMS开关梁的平整性,实现10nm~5...
徐亚新梁广华赵飞庄治学魏浩陈雨龚孟磊
文献传递
共2页<12>
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