张敏
- 作品数：25 被引量：91H指数：6
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项吉林省科技发展计划基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法
- 一种光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法，该干涉仪包括：光源，小孔光阑，周期相同、方向相互正交的第一光栅、第二光栅的光栅板、具有两个小孔光阑和两个方形光阑的光阑板和探测器。利用本发明光栅剪切波像差检测干涉仪检测待测系统的波...
- 李杰唐锋王向朝戴凤钊张敏
- 文献传递
- 二维快速傅里叶变换干涉图相位提取误差分析被引量：20
- 2013年
- 基于ZYGO干涉仪实测干涉图,利用二维快速傅里叶变换(FFT)法进行相位提取,并与相移干涉相位测量结果进行比对,对影响FFT法相位提取精度的边缘误差、窗函数、滤波器设计、干涉图延拓以及载波条纹数等因素进行了综合分析。结果表明直接二维FFT法干涉图边缘0.05R环形区域的相位提取误差最大,且决定了全局误差的大小。窗函数对边缘误差改善不明显,优化滤波器设计对边缘误差有一定改善。干涉图延拓能有效减小边缘误差,对于连续光学面检测而言是提高二维FFT法相位提取精度的最佳方法。干涉图载波频率为干涉图空间分辨率的1/13～1/3时均能得到较准确的测量结果,相位提取误差峰谷值(PV)可优于λ/20;载波频率越高,细节分辨能力越强。
- 张敏唐锋王向朝戴凤钊
- 关键词：干涉图
- 基于横向剪切干涉结构的成像系统像差的测量方法
- 一种基于横向剪切干涉结构的成像系统像差的测量方法，测量系统包括光源、针孔掩模、剪切光栅、双窗口掩模、光电探测器和计算机，测量时将待测成像系统置于所述的针孔掩模和剪切光栅之间，测量步骤如下：①获取x方向和y方向的横向剪切干...
- 戴凤钊唐锋王向朝张敏
- 文献传递
- 全光场偏振像差检测装置及检测方法
- 一种全光场偏振像差检测装置及检测方法。该装置包括：全偏振态发生器PSG、全偏振态分析器PSA及信号处理和控制系统。该检测方法包括：改变法拉第旋转器上加载偏控电压的大小，进行第一次测量；改变法拉第旋转器上加载偏控电压的大小...
- 曹绍谦步扬步鹏王向朝张敏汤飞龙李中梁
- 文献传递
- 全光场偏振像差检测装置
- 一种全光场偏振像差检测装置，该装置包括：全偏振态发生器、全偏振态分析器及信号处理和控制系统。本实用新型具有结构简单、共光轴且稳定、高空间分辨率和测量速度快的特点。
- 曹绍谦步扬步鹏王向朝张敏汤飞龙李中梁
- 文献传递
- 子孔径拼接干涉检测中机械定位误差的补偿被引量：2
- 2013年
- 为减少子孔径拼接干涉检测中机械精度引起的定位误差对检测结果造成的影响,在一般的调整误差拼接算法上加入机械定位误差的补偿项,建立了补偿机械误差的综合优化方法。针对参考面未知的拼接干涉检测,研究了应用极大似然估计法拟合出用Zernike多项式表示参考面面形分布的方法,在除去参考面面形后采用补偿机械误差的算法拼接。模拟对比实验表明,在相同的机械精度下,机械误差补偿算法得到的全口径相位差异分布均方根(RMS)值减少到近一般调整误差拼接法的1/6,机械误差补偿算法拼接精度高于一般调整误差拼接法。在搭建的拼接检测装置上检测口径为280mm的平面镜,与大口径干涉仪检测的全口径相位差异分布的峰谷(PV)值为0.099 4λ,RMS值为0.006 8λ,验证了综合优化方法在重构参考面面形基础上能有效补偿机械定位误差。
- 张敏田伟彭吉隋永新杨怀江
- 基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法
- 一种基于横向剪切干涉结构的光学元件面形的测量方法，测量系统包括光源、显微物镜、小孔光阑、准直物镜、剪切平板、光电探测器和计算机，测量时将待测光学元件置于准直物镜之后，并使光轴穿过待侧面的中心，测量步骤如下：①获取x方向和...
- 戴凤钊唐锋王向朝张敏
- 基于Hough变换的摄像机畸变非量测标定方法被引量：6
- 2015年
- 广角镜头在获得大视场的同时也引入了严重的光学畸变,必须对从广角相机所获得的图像进行畸变校正。本文首先提取图像中的曲线,依据在单参数除式畸变模型下直线段畸变成像近似呈圆弧的特点,在圆弧拟合过程中标定出畸变参数与畸变中心的初始近似值;进而采用一种在Hough变换空间中使用熵函数估计校正后曲线直线度的方法,利用熵函数对初始近似值作进一步的优化,最终求取更加精确的畸变参数与畸变中心。基于工程实例,分别利用圆弧拟合求初始值方法与本文所提出方法对目标图像进行畸变校正。仿真和真实图像实验表明,本文方法仅利用单幅图像即可实现高精度的标定系数,且方法具有较高的稳定性,操作简单、方便和易于实现。
- 张敏金龙旭吴凡路李国宁张宇王文华韩双丽
- 关键词：机器视觉径向畸变HOUGH变换圆弧拟合
- 最大似然估计法去除子孔径拼接检测中的支撑误差被引量：1
- 2017年
- 为了去除拼接干涉检测中支撑对面形检测的影响,提出了利用最大似然估计法计算支撑造成的面形误差的方法。首先,保持支撑工装不动,旋转待测镜检测各子孔径面形;然后,用最大似然估计法计算出支撑造成的面形误差;最后,各子孔径面形数据减去估算出的支撑面形误差,利用拼接算法拼接出全口径面形。以全口径直接测量结果为基准进行对比实验,验证了该方法可去除支撑造成的面形误差,提高了拼接检测精度。
- 张敏高松涛苗二龙隋永新杨怀江
- 环形子孔径拼接检测中机械误差的分离被引量：2
- 2013年
- 为减少环形子孔径拼接干涉检测中机械误差对检测结果造成的影响,分析环形子孔径拼接过程中机械误差作用分量的表现形式,提出了分离机械误差的全局优化的环形子孔径拼接方法。分析根据波像差理论建立的机械误差分离数学模型,然后将其应用于避免误差传递和累积的全局优化的拼接方法中,并提出利用光线追迹的方法在拼接之前除去理想非球面波前与参考球面波前的差别。应用分离机械误差的拼接方法对口径为75mm、顶点曲率半径为100mm的抛物面面形进行检测,得到的面形峰谷值误差为0.05λ,均方根值误差为0.003λ,验证了该拼接方法可有效分离环形子孔径拼接中的机械误差。
- 张敏王立朋隋永新杨怀江
- 关键词：光学检测光线追迹全局优化
