李海军
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- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程更多>>
- 一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器
- 本文介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对器件的机械模型结构和光耦合模型结构进行了分析.测试表明器件...
- 李海军杨拥军王建军徐永青郑七龙陈维友
- 关键词：微机械可变光衰减器波分复用
- 文献传递
- 一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器
- 2006年
- 介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对器件的机械模型结构和光耦合模型结构进行了分析.测试表明器件的动态衰减范围≥50dB,插入损耗≤0.8dB,回波损耗≤-45dB,波长相关损耗≤0.2dB,偏振相关损耗≤0.25dB,响应时间<1ms.
- 李海军杨拥军王建军徐永青郑七龙陈维友
- 关键词：微机械可变光衰减器波分复用
- 大动态微机械可变光衰减器
- 本实用新型公开了一种大动态微机械可变光衰减器，它涉及光电子领域中的可变光衰减器器件。它由N型单晶硅衬底、可动梳齿、固定梳齿、可动梳齿驱动电极、固定梳齿驱动电极、弹性折叠悬梁、可动部件支撑连接梁、光纤、硅挡板、V形槽等部件...
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- 新型硅—铝—硅结构MEMS加工技术及应用
- 提出了一种新型的硅-铝-硅结构的MEMS器件加工技术。采用了微电子工艺中的铝-硅烧结技术,将具有铝层的两个硅片键合在一起,并采用全干法深刘蚀技术在其中的一层硅片上进行MEMS器件的加工。该技术已成功应用到MEMS光开关及...
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- 关键词：MEMS体硅工艺光开关
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- 一种新型光通信用微机械可变光衰减器
- 转速是转管武器战斗性能的主要标志.测试转速对转管武器的研制、结构设计、性能优化和武器系统的改进十分有益。对此,文中分析和研究了测试转管武器转速的方法.利用光电传感技术设计了一套可行的测试系统方案。经过对该测试系统进行实弹...
- 李海军杨拥军徐永青郑七龙
- 关键词：微机械可变光衰减器波分复用
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- 硅玻璃键合的栅型高冲击加速度计
- 本发明公开了一种硅玻璃键合的栅型高冲击加速度计，它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统结构器件。它由玻璃衬底、差动电极、可动电极、可动电极引线、硅台阶、可动硅片、固定硅片、悬臂梁、硅片构成。本发明在玻璃衬底上...
- 何洪涛吝海峰徐爱东李海军乔彦宾杨拥军
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- 高深宽比结构的电容式加速度计
- 本实用新型公开了一种高深宽比结构的电容式加速度计，它涉及半导体MEMS制造领域中的一种高灵敏度加速度计。它由玻璃衬底、硅质量块、玻璃衬底电极、硅玻璃键合台面、悬臂梁、硅定梳尺、硅动梳尺、硅片等部件组成。硅定梳尺通过硅－玻...
- 何洪涛杨拥军郑锋徐爱东徐永青李海军罗蓉
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- 硅玻璃键合的栅型高冲击加速度计
- 本发明公开了一种硅玻璃键合的栅型高冲击加速度计，它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统结构器件。它由玻璃衬底、差动电极、可动电极、可动电极引线、硅台阶、可动硅片、固定硅片、悬臂梁、硅片构成。本发明在玻璃衬底上...
- 何洪涛吝海峰徐爱东李海军乔彦宾杨拥军
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- 大动态微机械可变光衰减器的制造方法
- 本发明公开了一种大动态微机械可变光衰减器的制造方法，它涉及光电子领域中的可变光衰减器器件的制造。本发明在硅基片上采用体硅微机械加工技术制造大动态微机械可变光衰减器的驱动器、可动硅挡板、光纤光路定位结构等部件。它利用在外加...
- 李海军杨拥军徐永青郑七龙
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- 单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法
- 本发明公开了一种单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法，它涉及微电子机械工艺加工技术领域中的微电子机械系统结构器件的制造。它采用浓硼扩散、光刻、深反应离子刻蚀和选择性湿法腐蚀技术工艺，实现可动悬空与固定微结构都制作...
- 徐永青杨拥军李海军
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