卢歆
- 作品数：5 被引量：12H指数：2
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金国家质检公益性行业科研专项更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术机械工程更多>>
- 基于电容式传感测头的电容检测系统的设计被引量：5
- 2011年
- 针对纳米尺寸测量领域的不同测量要求,尝试开发一种基于电容传感器的微触觉测头及其电容检测系统。阐述了测头的结构原理和电容传感器的工作原理,研制了基于电容传感器的微触觉测头。测头的测量原理表明:微小电容检测电路是整个电容检测系统的关键部分。该微小电容检测电路选用电容/数字转换器(CDC)AD7747芯片,分别编写了单片机与该芯片的I2C通信程序和单片机与上位机间的串行通信程序,实现了微小电容的采集和处理,简单进行了电容式传感测头的轴向性能的测试实验。实验表明:电容式微触觉测头的分辨率为0.02μm,重复性较好,证实了此电容式微触觉测头的可行性。
- 卢歆何明轩李源傅云霞汪红
- 关键词：电容传感器串行通信
- 一种用于微纳米测量的微可变电容及其制备方法
- <B>一种用于微纳米测量的微可变电容及其制备方法，所述电容由上下两个电极构成的，所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单...
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- MEMS电容式三维微触觉测头设计及校准被引量：7
- 2013年
- 由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件,本文基于非硅MEMS工艺,开发了一种可用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合驱动方式,设计了运动范围为25mm×25mm×10mm,单轴12μm范围内定位精度达1nm的三维微位移平台。最后,对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明,测头的轴向测量范围为4.5μm,横向测量范围大于5μm,轴向分辨力优于10nm,横向分辨力优于25nm,线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低,可集成到纳米测量定位平台(NMM),完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。
- 吴俊杰李源李东升卢歆何明轩
- 关键词：微机电系统校准装置纳米测量机
- 纳米测量机传感器信号显示与切换系统的设计
- 2012年
- 为提高纳米坐标测量机的测量效率,降低因测头切换频繁引起的设备故障率,设计了一个具有测头测量信号/观察信号切换并能够实时显示测量信号电压值的装置。该装置主要以C8051F单片机为核心,通过A/D转换芯片和液晶显示模块实现信号电压值的显示功能,同时通过多路选通开关实现信号切换功能。试验表明,该装置的电压示值与输入电压的标准值之间的偏差为0.005 V,并且切换操作简便、准确安全,可以很好地实现显示和切换功能。
- 卢歆雷李华沈瑶琼李源王丽华
- 关键词：C8051F信号切换液晶显示纳米测量机A/D转换
- 一种用于微纳米测量的微可变电容的制备方法
- 一种用于微纳米测量的微可变电容的制备方法，所述电容由上下两个电极构成的，所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单元都引出...
- 汪红何明轩李源凌行卢歆丁桂甫
- 文献传递
