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张孝其

作品数：6 被引量：21H指数：3
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

共 2 条 记 录，以下是 1-2
中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：晶圆 化学机械抛光 CMP 全自动 半导体设备
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中华人民共和国工业和信息化部
研究主题：信息化 新疆生产建设兵团 印发 移动通信 无线电管理
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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