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陈小锰

作品数：4 被引量：15H指数：2
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学一般工业技术核科学技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 9个一般工业技术
  • 9个理学
  • 7个电子电信
  • 6个化学工程
  • 6个核科学技术
  • 5个金属学及工艺
  • 5个机械工程
  • 4个动力工程及工...
  • 3个电气工程
  • 2个冶金工程
  • 2个自动化与计算...
  • 2个建筑科学
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个文化科学
  • 1个天文地球
  • 1个矿业工程
  • 1个石油与天然气...
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个交通运输工程

主题

  • 9个溅射
  • 7个氮化
  • 7个等离子体
  • 7个等离子体密度
  • 7个等离子体特性
  • 7个等离子体增强
  • 7个等离子体增强...
  • 6个带隙
  • 6个电子回旋共振
  • 6个电子温度
  • 5个氮化碳
  • 5个氮化锆薄膜
  • 5个电化学
  • 5个电位变化
  • 4个氮化硅
  • 4个氮化碳薄膜
  • 4个等离子体诊断
  • 3个刀具
  • 3个等离子
  • 3个等离子体源

机构

  • 9个大连理工大学
  • 3个中国工程物理...
  • 2个教育部
  • 2个三束材料改性...
  • 1个东北大学
  • 1个贵州大学
  • 1个北京邮电大学
  • 1个大连海事大学
  • 1个大连交通大学
  • 1个吉林大学
  • 1个江苏科技大学
  • 1个中国科学院
  • 1个中国矿业大学
  • 1个中国科学院金...
  • 1个表面物理与化...
  • 1个三束材料改性...
  • 1个大连理工常州...

资助

  • 9个国家自然科学...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家教育部博...
  • 3个国家重点实验...
  • 3个辽宁省自然科...
  • 2个国防基础科研...
  • 2个国家科技支撑...
  • 2个教育部留学回...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个NSAF联合...
  • 2个高等学校科技...
  • 2个国际热核聚变...
  • 2个教育部重点实...
  • 2个辽宁省教育厅...
  • 2个中国工程物理...
  • 1个传感技术联合...
  • 1个高等学校骨干...
  • 1个国家科技攻关...
  • 1个国家留学基金
  • 1个国家重点基础...

传媒

  • 9个物理学报
  • 9个真空科学与技...
  • 8个2004年中...
  • 6个2006北京...
  • 5个核聚变与等离...
  • 5个功能材料
  • 4个材料保护
  • 4个真空
  • 4个大连理工大学...
  • 4个应用光学
  • 4个2004年中...
  • 3个机械工程学报
  • 3个机械工程材料
  • 3个核技术
  • 3个无机材料学报
  • 3个表面技术
  • 3个材料导报
  • 2个材料科学与工...
  • 2个稀有金属材料...
  • 2个金属学报

地区

  • 7个辽宁省
  • 1个湖南省
  • 1个四川省
共 9 条 记 录，以下是 1-9
徐军
供职机构：教育部
研究主题：磁控溅射 类金刚石膜 非平衡磁控溅射 类金刚石薄膜 类金刚石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓新绿
供职机构：大连理工大学
研究主题：磁控溅射 类金刚石膜 类金刚石薄膜 等离子体诊断 性能研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张治国
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题：等离子体密度 非平衡磁控溅射 等离子体特性 UMS LANGMUIR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘天伟
供职机构：中国工程物理研究院
研究主题：铀 非晶合金 非平衡磁控溅射 贫铀 铀合金
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董闯
供职机构：大连理工大学
研究主题：强流脉冲电子束 团簇 合金 电弧离子镀 ZR
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁万昱
供职机构：大连交通大学
研究主题：磁控溅射 晶面 薄膜热电偶 多晶 非晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓新禄
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题：等离子体 甲烷 非平衡磁控溅射 降膜蒸发 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朴勇
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题：SICN 化学结构 非平衡磁控溅射 光学带隙 碳含量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高鹏
供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室
研究主题：SICN 非平衡磁控溅射 磁控溅射 化学结构 性能研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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