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陈阳
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中国电子科技集团公司
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合作作者
陈江红
中国电子科技集团公司第四十八研...
李爱成
中国电子科技集团公司第四十八研...
李晖
中国电子科技集团公司
高飞
中国电子科技集团公司
朱磊
中国电子科技集团公司
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陈江红
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所
研究主题:离子注入 典型应用 超大规模集成电路 电子束
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高飞
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 晶片 氧化镓 粘接 化学机械抛光
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练小正
供职机构:中国电子科技集团公司第四十六研究所
研究主题:单晶 氧化镓 坩埚 单晶生长 籽晶
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相关人物
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朱磊
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:氧化镓 CMP 硅溶胶 化学机械抛光 平坦化
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李晖
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 晶片 化学机械抛光 粘接 抛光
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李爱成
供职机构:上海大众汽车有限公司
研究主题:推板窑 离子注入 典型应用 发热 工业窑炉
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徐世海
供职机构:中国电子科技集团公司
研究主题:单晶片 抛光 化学机械抛光 晶体 氧化镓
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