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常麟
作品数:
3
被引量:12
H指数:2
供职机构:
北京有色金属研究总院
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
周旗钢
北京有色金属研究总院
鲁进军
北京有色金属研究总院
卢立延
北京有色金属研究总院
戴小林
北京有色金属研究总院
何自强
北京有色金属研究总院
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
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供职机构
所获资助
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鲁进军
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 氧浓度
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刘大力
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 沉积厚度
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冯泉林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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卢立延
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅抛光片 氧浓度 数值模拟 直拉硅单晶
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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闫志瑞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
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供职机构
所获资助
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戴小林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:直拉硅单晶 单晶炉 氧化诱生层错 硅单晶 挥发物
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
何自强
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 表面粗糙度
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供职机构
所获资助
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