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常麟

作品数:3 被引量:12H指数:2
供职机构:北京有色金属研究总院更多>>
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周旗钢
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲁进军
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:超大规模集成电路 300MM硅片 硅片 化学机械抛光 氧浓度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘大力
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 沉积厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯泉林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 300MM硅片 硅片表面 外延片 氧沉淀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢立延
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅抛光片 氧浓度 数值模拟 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫志瑞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴小林
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:直拉硅单晶 单晶炉 氧化诱生层错 硅单晶 挥发物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何自强
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 拉速 外延片 SP1 表面粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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